Gebraucht LEYBOLD / BALZERS ZH 620 #9100807 zu verkaufen
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























































































ID: 9100807
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1993
Sputter deposition system, 4"-6"
(3) Targets, 8"
Sputter etcher
(3) Sputter guns
PC Controller
HUTTINGER RF Supply 13.56 MHz
INFICON QUADREX 100 Residual gas analyzer
Substrate heat
Onboard CTI-8 on process chamber
Turbo pump on loadlock chamber
Cluster type
1993 vintage.
LEYBOLD/BALZERS ZH 620 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die für den Einsatz in verschiedenen Anwendungen wie Forschung, Industrie und Nanolithographie entwickelt wurde. Es kombiniert das Beste in der modernen Technologie mit umfassender Benutzerfreundlichkeit für überlegene Ergebnisse. Das Sputtersystem verfügt über ein hochohmiges Graphitziel mit einer Lichtbogenzündschaltung, die einstellbare Ionenstrom- und Leistungspegel ermöglicht. LEYBOLD ZH 620 ist in der Lage, thermische und gepulste Modus Sputtern, so dass es für verschiedene Anwendungen geeignet. Das hochohmige Graphit-Target lässt sich schnell und einfach verändern und das Ziel zum Substrat-Abstand für verbesserte Ergebnisse schnell einstellen. Die Sputtereinheit hat einen kleinen Formfaktor, der die Installation auch auf kleinstem Raum erleichtert. Der geringe Stromverbrauch macht es zu einer kostengünstigen Wahl für viele Anwendungen. Es ist mit einem großen 8,4-Zoll-LCD-Touchscreen-Display konzipiert, das leicht zu navigieren ist. Die Benutzeroberfläche umfasst eine umfassende Source-and-Substrat-Einstellung, Kammereinrichtung, Power-Machine-Parameter und Diagnose. Es bietet auch eine Reihe von programmierbaren Funktionen, wie Substrattemperatur, Druckregelung, Hochspannungsregelung und Endpunktüberwachung. BALZERS ZH 620 kann eine Reihe von Materialien sputtern, darunter Metalle, Isolatoren, Keramik, Polymere und organische Materialien. Das Werkzeug ist für 0,1 bis 0,2 mm dicke Folien ausgelegt. Die Sputterabscheidungsrate kann je nach Substratmaterial, Zielmaterial und Kammertemperatur von 0,001 bis 0,2 nm/min eingestellt werden. ZH 620 kann mit einer Reihe von zusätzlichen Komponenten ausgestattet werden, wie eine spezielle Plasmaquelle, Sputter-Stripper und temperaturgesteuerte Edelstahlprallwand für verbesserte Ergebnisse. Es bietet auch die Integration mit Geräten von Drittanbietern, wie Röntgenfluoreszenzspektrometern, QCM-basierten Massenspektrometern und Langmuir-Sonden. Alles in allem ist LEYBOLD/BALZERS ZH 620 eine fortschrittliche Sputteranlage, die für eine Reihe von Anwendungen entwickelt wurde. Seine Eigenschaften und sein Zubehör machen es zu einer vielseitigen, kostengünstigen Wahl für viele Benutzer.
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