Gebraucht LEYBOLD Helios 400 #293590262 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293590262
Wafergröße: 4"
Sputtering system, 4"
OMS 5000
Hydrogen
PBS Plasma source: (2) Gases (Oxygen and Argon)
Load lock
(2) Vacuums
Power control
(1) Chamber
Control panel
Targets:
(4) Silicon
(2) NiCr
(2) NbTa
(2) TiTaAI
Turbo pumps:
TPH 1501 UP
TC100
8-Position for 4" deposition
3D Glass tube deposition
Manuals included.
LEYBOLD Helios 400 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die für Industrie- und Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Genauigkeit für das Sputtern dünner Filme auf eine breite Palette von Substraten. Helios 400 ist modular aufgebaut und kann so konfiguriert werden, dass es spezifischen Anwendungsanforderungen entspricht. Das System verfügt über eine Hochvakuum-Edelstahlkammer mit einem Basisdruck von besser als 2 × 10-6 mbar. Die flexible Kammerkonfiguration kann bis zu vier Sputterquellen aufnehmen, wobei eine Reihe von Größen zur Verfügung stehen. Quellen können unabhängig voneinander positioniert werden, was große und komplexe Dünnschichtabscheidungsbereiche ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über eine integrierte Substrathandhabungsmaschine, die eine effiziente und genaue Probenpositionierung ermöglicht. LEYBOLD Helios 400 verfügt über ein fortschrittliches Sputter-Steuerwerkzeug von LEYBOLD, das eine präzise Prozesssteuerung und wiederholbare Sputterraten bietet. Das Asset ist auch mit der Prozessüberwachung kompatibel und ermöglicht eine kontinuierliche Prozessoptimierung. Das Modell ist vakuumkompatibel und kann in eine Reihe von Prozessgasen und Pumpsystemen integriert werden. Es stehen eine Reihe von Steuerungsoptionen zur Verfügung, die Zugriff auf mehrere Steuerungsfunktionen und eine Reihe von Datenausgängen für die Prozessüberwachung bieten. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von externen Magnetronen kompatibel, die eine Abscheidung von Materialien mit hohen magnetischen Eigenschaften ermöglichen. Neben seinen Sputteranwendungen kann Helios 400 auch für eine Vielzahl weiterer Aufgaben wie Ätzen, Bildung von Bischichten und Abscheidung von hochreflektierenden und Schutzschichten eingesetzt werden. Diese Flexibilität und Kontrolle machen LEYBOLD Helios 400 ideal für die Herstellung hochwertiger und zuverlässiger Dünnfolien.
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