Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Z550 #131001 zu verkaufen

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Hersteller
LEYBOLD HERAEUS
Modell
Z550
ID: 131001
Semi-automatic cathode sputtering system Includes: (Qty 2) PK150 magnetron sputtering cathodes: 6" diameter Cathodes for DC and RF DRESSLER Caesar 2.5 kW RF sputtering power supply DRESSLER VM 3000 automatic matching unit GS30 / 800 ADL DC sputtering power supply, 3 kW Substrate table with water cooling and RF-bias / RF-etching Gas inlet system with mass flow controller Second gas inlet is prepared LEYBOLD D-60A prevacuum pump LEYBOLD Turbovac 450 turbomolecular pump with LN2-baffle.
LEYBOLD HERAEUS Z550 Sputteranlage ist ein leistungsstarkes, kostengünstiges Werkzeug zur Vakuumabscheidung von dünnen Folien. Es ist für die präzise und kontrollierte Abscheidung verschiedener Materialien auf Substraten verschiedener Größen und Formen ausgelegt. Das System ist in der Lage, Materialschichten von 10 bis 100 nm Dicke abzuscheiden und kann für die physikalische Bedampfung (PVD) von dünnen Schichten auf einer Vielzahl von Substraten und Materialien verwendet werden. LEYBOLD HERAEUS Z 550 verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es zu einer optimalen Wahl für hochpräzise PVD-Anwendungen machen. Es umfasst eine moderne, geschlossene Einheit mit einer 200mm x 200mm Designfläche, die es ideal für größere Substrate macht. Die Kammer hat einen Temperaturbereich von bis zu 200 ° C, was eine Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein hochpräzises Gasförderwerkzeug, so dass Gase präzise eingeleitet und gesteuert werden können. HERAEUS Z550 enthält eine Reihe weiterer Merkmale, die es besonders für PVD-Anwendungen geeignet machen. Es verfügt über eine Hochvakuumpumpeinheit, die eine hochpräzise Niedervakuumabscheidung ermöglicht. Das Asset kann auch für die zweistufige Abscheidung konfiguriert werden, so dass zwei verschiedene Prozessschritte in einem Zyklus durchgeführt werden können. Dadurch können dickere Schichten abgeschieden werden, ebenso dünnere Schichten aus verschiedenen Materialien. LEYBOLD HERAEUS HERAEUS Z550 verfügt zudem über ein exakt kontrolliertes Kalibrier- und Ausrichtungsmodell, das für jeden Zyklus eine gleichbleibende Qualität der Abscheidung gewährleistet. Dies trägt zur Verringerung der Variation bei und sorgt für eine gleichmäßige Schichtdicke auf verschiedenen Substraten. Es hilft auch, die Möglichkeit einer Beschädigung der Substrate durch Verunreinigungen oder Entzündung der in PVD verwendeten Gase zu reduzieren. Darüber hinaus ist die Ausrüstung vollautomatisiert und verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die die Einrichtung, Bedienung und Steuerung erleichtert. Schließlich ist Z550 eine kostengünstige Wahl für hochpräzise PVD-Anwendungen. Es bietet ein umfassendes Paket von Funktionen, ohne die Bank zu brechen, so dass es eine intelligente Option für alle, die eine Vielzahl von dünnen Filmen auf eine Vielzahl von Substraten deponieren möchten.
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