Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Z550MS #31347 zu verkaufen
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ID: 31347
Weinlese: 1987
Sputtering system
Load lock system
Mechanical component:
Frame with liner
Vacuum chamber with sight glass
Chamber lid with bores for mounting cathodes
High vacuum valve NW 150 with throttle position
Electrical component:
Rack cabinet, 19"
Switchboard including fuses and connections
Pumping system with turbo molecular pump and vacuum gauge control
Vacuum gauge controller
IM 110 D Ionization vacuum gauge
D40B Rotary vane pump:
(2) Stages
Pumping speed 40 m³/h
Flow control:
(2) Gases complete with sensor
Control valve
Control rack
Digital indication
Backing plate
Substrate load lock:
Load lock including high vacuum valve
Electro pneumatically operated
Load lock
Pumping system
Vacuum gauge controller
DC Sputtering equipment:
DC Power supply type: SSV 3.5
Power: 3.5 kW
Maximum voltage: 600 V
Cathode selector switch
(4) High rate cathodes PK 150:
Complete with magnets and insulators without target material
Substrate carrier:
Made of Aluminium, insulated for RF bias and RF etching
Infrared heating station
Shutter
Special aperture diaphragms
Sputtering timer
(4) Targets:
1st Target: Pt
2nd Target: Pd
3rd target: NiCr
RF Equipment:
RF Generator: RF Sputtering / RF Etching IS 2.5
Process switch
RF Etching and RF Bias in process module
Control system upgraded
Manuals
1987 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z550MS ist eine Sputteranlage zur Herstellung von Dünnfilmbeschichtungen auf Oberflächen. Es ist ein hocheffizientes und kostengünstiges System, das das Aufbringen von dünnen Schichten auf eine Vielzahl von Substraten, einschließlich Metallen und Polymeren, ermöglicht. Z550MS verfügt über eine leistungsstarke 4kW Stromquelle und einfach zu bedienende digitale Steuerungen, die schnelle und genaue Anpassungen ermöglichen. Die eingebaute Drucksteuereinheit ermöglicht eine präzise Steuerung des Kammerdrucks und ermöglicht optimale Prozessergebnisse. Die Maschine verfügt auch über Multi-Source-Fähigkeiten, die das gleichzeitige Sputtern verschiedener Materialien ermöglichen. Die Sputterziele in LEYBOLD HERAEUS Z550MS bestehen aus dicken, hochleistungsfähigen Kohlenstoff- und Aluminiumlegierungsmaterialien. Die enthaltenen Zwei-Zonen-Targets ermöglichen eine bessere Energieverteilung, um einheitliche Beschichtungen zu erzeugen; sie helfen auch, Sputterraten zu erhöhen und Off-Target-Sputtern zu reduzieren. Das Zwei-Zonen-Zieldesign hilft auch, die Ladezeiten zu reduzieren und die Gleichmäßigkeit von Folien beim Sputtern mehrerer verschiedener Materialien zu verbessern. Z550MS verwendet revolutionäre Hochleistungs-Sputtertechnologie, die die Sputterrate erhöht, die Prozessgleichförmigkeit verbessert und die Gesamtbeschichtungszeiten reduziert. Das leistungsstarke Strahlkühlwerkzeug reduziert die Erosion zwischen den Quellen und ermöglicht eine größere Bandbreite an Abscheidebedingungen. Der Sputterkopf in LEYBOLD HERAEUS Z550MS ist für hochpräzise Sputteroperationen ausgelegt und verfügt über einen einstellbaren Neigungssensor für genaue Abscheideraten über große Flächen. Es verfügt außerdem über eine Fernüberwachung und einen intuitiven LCD-Touchscreen mit digitalen Bedienelementen, die eine präzise Interschichtsteuerung und -überwachung ermöglichen. Die Anlage ist in der Lage, Metalle, Oxide, Nitride und keramische Ziele zu zerstäuben. Der modulare Aufbau von Z550MS ermöglicht eine einfache Reinigung, Wartung und Aktualisierung. Es kommt mit einem einfachen Ladezielsicherheitsmodell, das das Ziel automatisch verriegelt, wenn es aus der Kammer ist, was Ihrem Setup Sicherheit und Komfort verleiht. LEYBOLD HERAEUS Z550MS umfasst auch eine In-situ-Substratheizung und einen eingebauten Helium-Lecksucher, um die Leistung zu verbessern und die höchste Qualität von dünnen Filmen zu gewährleisten. Abschließend ist Z550MS ein leistungsfähiges und effizientes Sputtersystem, das die Möglichkeit bietet, hochwertige Dünnschichten auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. Seine zuverlässigen Komponenten, sein benutzerfreundliches Design und seine vielfältigen Funktionen machen es zu einer guten Wahl für alle, die nach einer erschwinglichen und effizienten Lösung für Sputteranwendungen suchen.
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