Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Z550S #9192875 zu verkaufen

ID: 9192875
Sputtering system With load-lock (5) Cathode positions (4) Cathodes PK150 Heater RF & DC Sputtering.
LEYBOLD HERAEUS Z550S ist eine Sputteranlage, die entwickelt wurde, um physikalische Dampfabscheidung (PVD) mit einer Vielzahl von Sputterzielen durchzuführen. Es verwendet eine kathodische Lichtbogenabscheidung (arc PVD), um dünne Filme aus hochreinen metallischen und nichtmetallischen Materialien mit unterschiedlicher Dicke abzuscheiden. Es kann auch zur Herstellung von einschichtigen und mehrschichtigen Beschichtungen verwendet werden. Z550S Sputtersystem ist für den Einsatz in modernen Forschungs- und Industrieanwendungen wie Halbleiteranzeigen und optischen Beschichtungen konzipiert. LEYBOLD HERAEUS Z550S verfügt über einen Vier-Ziel-Revolver mit einem einstellbaren Winkel, um Folienausrichtung und Schichtkonformität zu erleichtern. Die Sputterkammer hat einen Durchmesser von 6 „(152 mm) und eine Länge von 18“ (457 mm), was ihr ein großes Kammervolumen zum Zerstäuben größerer Flächensubstrate verleiht. Z550S können Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 "(203 mm) und einer Dicke von bis zu 4 ″ (102 mm) aufnehmen. Ein integrierter Kühlmantel hilft, Ziel- und Substratheizung zu minimieren. LEYBOLD HERAEUS Z550S stotternde Einheit zeigt eine Hochleistungsionsquelle der Elektronzyklotronklangfülle (ECR). Diese Ionenquelle liefert einen deutlich gleichmäßigeren und homogeneren Ionenbeschuss über die Ziele und Substrate als herkömmliche HF-Ionenquellen (RF-PVD). Die ECR-Ionenquelle hat eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Abscheidungsrate über große Substratbereiche und eignet sich für alle Arten von speziellen Targets wie nichtleitende Materialien und langsam erodierende Targets. Z550S Sputtermaschine ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, Ablagerungsverfahren einfach zu programmieren und Ablagerungsparameter zu überwachen. Die Software ermöglicht es Benutzern auch, Prozessdatenbanken zu erstellen, die Parameter für herkömmliche und komplexe Beschichtungsprozesse speichern und laden können. Der Benutzer kann die Substrattemperatur über die Computerschnittstelle von LEYBOLD HERAEUS Z550S überwachen und steuern. Z550S Sputterwerkzeug ist für eine einfache Wartung ausgelegt und seine Komponenten bestehen aus hochwertigen Materialien für maximale Haltbarkeit und Zuverlässigkeit. Seine Software kann einfach über ein Flash-Laufwerk aktualisiert werden, und das Asset verfügt auch über einen Remote-Diagnose- und Fehlerbehebungsdienst, um Ausfallzeiten zu minimieren. Dadurch ist LEYBOLD HERAEUS Z550S ein zuverlässiges, kostengünstiges und einfach zu bedienendes Sputtermodell für Forschung und industrielle Anwendungen.
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