Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Z650 #27258 zu verkaufen

LEYBOLD HERAEUS Z650
Hersteller
LEYBOLD HERAEUS
Modell
Z650
ID: 27258
Sputtering system equipped with load lock / exit chamber with Leybold Trivac D65B prevacuum pump, Leybold Turbovac 1000 turbo molecular pump, and RF plasma cleaning. Process chamber A with Alcatel 2063 prevacuum pump and Pfeiffer TMH1001P turbodrag pump (TMH is as good as new), 3 x new PK 200 sputtering cathodes positions, RF and DC sputtering power supply, (combined with process chamber B), Balzers QMG064 massaspectrometer; Process chamber B with Leybold Trivac D65B prevacuum pump, Leybold Turbovac 1000 turbo molecular pump, 2 x new PK 200 sputtering cathodes positions, 1x substrate heating position, RF and DC sputtering power supply, (combined with process chamber A), RF bias, Balzers QMG064 massaspectrometer, can be retrofitted to your specs.
LEYBOLD HERAEUS Z650 ist ein Sputtergerät zur Dünnschichtabscheidung. Dieses System ist sehr vielseitig einsetzbar und kann für eine Vielzahl von Materialien wie Oxide, Nitride und Metalle verwendet werden. Die Einheit besteht aus einer Ultrahochvakuumkammer, einer Magnetronkathode und einem Embedded Vacuum Process Controller (EVPC). Die Maschine kann bis zu zwei Ziele für das Sputtern aufnehmen und kann sowohl für DC als auch für gepulstes DC-Sputtern verwendet werden. LEYBOLD HERAEUS Z 650 verfügt über eine Reihe von Funktionen, um Prozessstabilität, Wiederholbarkeit und Präzision zu gewährleisten. Diese Funktionen umfassen: einen eingebetteten Vakuum-Prozesscontroller (EVPC) auf Mikroprozessor-Basis mit einer 5,7-Zoll-Bildschirm- und Touch-Pad-Benutzeroberfläche; eine dreifache turbomolekulare Pumpstation mit einer vorderen Pumpvorrichtung; ein Kühlwerkzeug mit geschlossenem Kreislauf und eingebautem Kühler; und ein automatisches Positionierelement, das wiederholbare Sputterergebnisse gewährleistet. Z650 bietet eine beeindruckende Anzahl von Prozessparametern, so dass der Benutzer das Modell an seine spezifizierten Anforderungen anpassen kann. Um wiederholbare und präzise Ergebnisse zu erzielen, bietet das Gerät eine präzise Durchflussregelung, einstellbare Hochspannung, eine präzise Druckaufnehmereinheit und eine präzise Zielplatzierung. Die Maschine hat auch die Fähigkeit, Hochtemperatur-Legierungen für Ziele zu verwenden, so dass die Abscheidung der anspruchsvollsten Folien. Z 650 bietet eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, wie einen Plasmamonitor, ein Antihaftgerät und einen Hochfrequenzsputtermonitor. Das Werkzeug verfügt auch über eine genaue Abscheidungsüberwachung, um die genaue und konsistente Abscheidung von Filmen zu gewährleisten. Mit der Antihaftvorrichtung können Folien problemlos von schwer reinigbaren Oberflächen entfernt werden. Der Hochfrequenzsputtermonitor sorgt für eine gründliche und gleichmäßige Abscheidung von Filmen. LEYBOLD HERAEUS Z650 ist ein sehr vielseitiges und präzises Sputtergut, das in der Lage ist, Filme aus verschiedenen Materialien abzulegen. Mit seinen vielen Merkmalen, wie dem Kühlmodell mit geschlossenem Kreislauf, der präzisen Zielplatzierung, dem Hochfrequenz-Sputtermonitor und dem Plasmamonitor, bietet das Gerät eine hervorragende Kontrolle über Prozessparameter. Dieses System ist ideal für Hersteller, die präzise und zuverlässige Sputterprozesse benötigen.
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