Gebraucht LEYBOLD HERAEUS Z650 #32461 zu verkaufen

LEYBOLD HERAEUS Z650 ist ein High-End-Multi-Source-Sputter-Coater zur Abscheidung dünner Materialschichten auf verschiedenen Substratoberflächen. Es wird in einer breiten Palette von Anwendungen wie medizinische Geräte medizinische Diagnostikkomponenten, Flachbildschirme, Halbleiterverpackungen und Photovoltaik-Materialien verwendet. LEYBOLD HERAEUS Z 650 Sputterausrüstung besteht aus zwei Hauptteilen - ein Netzteil und eine Sputtereinheit. Das Netzteil verfügt über drei separate Kanäle und kann bis zu fünf unabhängige Sputterquellen bedienen. Es ist mit einem digitalen Display zur Überwachung der Spannungs-, Strom- und Leistungspegel jeder Quelle ausgestattet. Der Strom wird an 259 Stellen entlang des Sputterbogens überwacht, um einen optimalen Sputterprozess zu gewährleisten. Die Sputtereinheit besteht aus einem drehbaren Spannfutter, das sowohl zur schattenlosen Sputterabscheidung als auch zum normalen Sputtern auf ein Substrat verwendet werden kann. Das Sputter-Target wird in einem schwebenden Zielhalter mit einem variablen Neigungswinkel von bis zu 10 Grad gehalten. Dieser Halter kann in X- und Y-Richtung bewegt werden, um eine gleichmäßige Abdeckung des gesamten Sputterziels zu gewährleisten. Die Sputterkammer kann unter verschiedenen Hintergrunddruckbedingungen von 1 mbar bis 13 mbar betrieben werden. Z650 System profitiert von mehreren Quellfunktionen und einer großen Auswahl an Zielen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Metallen zu beschichten, Halbleiter und ihre Derivate, wie Aluminium, Kupfer, Molybdän, Wolfram und Chrom. Der modulare Aufbau ermöglicht die gleichzeitige Konfiguration mehrerer Sputterkonfigurationen und bietet Anwendern unterschiedliche Vorteile, wie höhere Produktivität und erhöhte Prozessvielfalt. Z 650 Sputtereinheit verfügt über erweiterte Kontrollen für genaue und wiederholbare Prozessergebnisse. Der integrierte Data Logger liefert Echtzeit-Prozessinformationen, die auf einem USB-Laufwerk zur weiteren Datenanalyse übertragen und gespeichert werden können. Die Maschine enthält auch eine optionale VacPit All-in-One-Vakuumpumpe mit ölfreiem Träger. LEYBOLD HERAEUS Z650 Sputter-Tool bietet fortschrittliche Funktionen und präzise Steuerung für die Abscheidung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substratoberflächen. Der modulare Aufbau bietet Flexibilität in Bezug auf die Nutzung und eine verbesserte Produktivität wird mit den vielfältigen Quellfunktionen erreicht. Der Data Logger liefert Echtzeitdaten und wird durch die integrierte VacPit Vakuumpumpe für eine sauberere Umgebung ergänzt.