Gebraucht LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 #154093 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 154093
Vertical sputtering system
Continuous substrate flow ability
Carrier return track
Built-on Twin-mag with AE MF Generator
Substrate size is 700x750mm
Modules:
(2) Atmospheric
(4) Transport (short mod)
(2) Process (long mod), up to 12 cathodes
Roots / rough pumps per module:
WS2000 / D65
TMP1500 turbo
Process modules have (2) turbo pumps
Vacuum sensors: IM110 and Thermovac TM220 and Penningvac 411.
LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 ist eine Hightech-Sputteranlage, die zum Aufbringen dünner Materialfilme auf eine Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Das System besteht aus einer Stromversorgung, einer Prozesskammer, einem HF-Generator und einer Vakuumeinheit sowie einer Vielzahl von integrierten Steuerungs- und Überwachungskomponenten. Der ZV 1200 wurde für maximale Zuverlässigkeit und Betriebszeit konzipiert und verfügt über ein kompaktes Machine-in-a-Box-Design mit allen notwendigen Komponenten, die in einer Einheit enthalten sind. Die Stromversorgung von LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 liefert bis zu 1.2kV und kann mit variabler Leistung betrieben werden, was eine präzise Steuerung der Sputterprozesse ermöglicht. Mit dem einstellbaren HF-Generator können Benutzer die Frequenz, die Impulslänge und den Arbeitszyklus einstellen, was vielseitige und anpassbare Sputterprozesse ermöglicht. Das Werkzeug enthält auch ein Steuerpad, mit dem der Benutzer verschiedene programmierbare Einstellungen steuern kann, wie das Sputter-Zielmaterial und andere Parameter. ZV 1200 verfügt über eine aktiv gekühlte Prozesskammer, die die optimale Umgebung für das Sputtern erhalten soll. Die Wände der Kammer sind mit einer Verdampfungsbeschichtung ausgekleidet, um Kontaminationen zu minimieren, so dass der Benutzer dünne Filme mit der höchsten Reinheit erhalten kann. Dank aktiver Kühlung kann die Kammertemperatur in einem Bereich von 10-15 ° C gehalten werden, um eine optimale Abscheidung zu gewährleisten. Die gesamte Anlage ist mit einer Vielzahl von Sensoren ausgestattet, um den Kammerdruck und die Temperatur während des Betriebs sowie verschiedene andere Parameter zu überwachen. LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 Sputtermodell wurde entworfen, um maximale Zuverlässigkeit und Betriebszeit zu gewährleisten. Dank der eng integrierten Konstruktion erleichtert die Ausrüstung den schnellen Slot-In-Austausch und die einfache Wartung. Alle Komponenten werden nach den neuesten Sicherheitsstandards gebaut und bieten Anwendern Sicherheit. Darüber hinaus ermöglicht das System die Konfiguration mehrerer Prozesskammerkonfigurationen (einschließlich Einzelkammer und Doppelkammer) je nach Benutzeranforderungen. Zusammenfassend ist ZV 1200 eine hochentwickelte Sputtereinheit, die maximale Zuverlässigkeit und Betriebszeit bietet. Die Maschine verfügt über ein kompaktes Design mit leistungsstarker Stromversorgung, einstellbarem HF-Generator und einer aktiv gekühlten Prozesskammer. Mit einer Vielzahl von Onboard-Sensoren und anpassbaren Einstellungen bietet LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 Anwendern ultimative Kontrolle über Sputterprozesse.
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