Gebraucht LEYBOLD OPTICS Pegasus #9299848 zu verkaufen
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ID: 9299848
Weinlese: 2015
PVD Sputtering system
(2) MAGNETRON Cathodes for DC and MF Sputter
Ion source: Gpi PPALS 203
(2) Dis 2000V Chambers
(2) HUTTINGER Truplasma DC3050 Electronics
ADVANCED ENERGY Pinnacle Power supply
(6) SHIMADZU EI-D 303M Pump controllers
(2) AOL GSM 300 / 500 Power supplies
RGA analyzers
Spare parts
Cables
Platform
2015 vintage.
LEYBOLD OPTICS Pegasus ist eine leistungsstarke, hochmoderne Sputterabscheidung, die zur Herstellung hochwertiger Dünnschichtbeschichtungen entwickelt wurde. Es baut auf bewährter Leybold-Vakuumtechnologie auf und besteht aus einer Turbomolekularpumpe mit einer Stützpumpe, einem GD2004/QD digitalen Controller, einem durchdachten Lastschloss und zwei verschiedenen Magnetronsputterquellen. Darüber hinaus verfügt das System über eine präzise und zuverlässige Substratpositionierung und Lastverriegelungstemperaturregelung sowie eine In-situ-Quelltemperatur- und Stufenparameteroptimierung. Dies ermöglicht eine minimale Energiezufuhr und Ertragsoptimierung. Der Hauptreaktor der Anlage ist mit einem Edelstahlkammerschild ausgestattet. Es wurde entwickelt, um Personal, Komponenten und Beschichtungen maximalen Schutz zu bieten. Die gesamte Kammer enthält auch schnell öffnende und wieder schließende Sicherheitstüren für zusätzlichen Schutz. Der Leybold Pegasus verwendet eine Dual-Magnetron-Quelle, die sowohl bei Gleich- als auch bei gepulsten Leistungsstufen arbeitet, sowie eine ECRN-Ionenquelle für den hochdichten Ionenbeschuss. Es arbeitet bei einem Druck von bis zu 6E-2 Torr mit einem Source-to-Substrat-Abstand von bis zu 60 mm und einer bis zu 16-Zoll-Kammeröffnung. Darüber hinaus kann die Substratgröße bei einer Sputterleistung von bis zu 3 kW zwischen 2 und 15 Zoll liegen. Die Maschine arbeitet mit einem handbetätigten Probenhalter und ermöglicht die Abscheidung von leitfähigen und nicht leitfähigen Materialien, wie Metallen, Dielektrika, Oxide, Polymere und Legierungen. Es verfügt auch über ein eingebautes Substrat-Kühlwerkzeug zur Temperaturregelung während der Abscheidung und ist in der Lage, Abscheideraten bis zu 8 µm/min. Darüber hinaus umfasst der Leybold LEYBOLD OPTICS Pegasus eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, eine Prozessüberwachung und einen Temperaturwächter, der eine exakte Kontrolle der Schichtdicke gewährleistet. All diese Merkmale tragen zu präzisen und wiederholbaren Ergebnissen bei und sind somit das ideale Werkzeug für viele industrielle Anwendungen wie die Entwicklung von Flachbildschirmen, die Abscheidung optischer Filme, tribologische Beschichtungen sowie die Herstellung medizinischer Komponenten und Instrumente.
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