Gebraucht MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 602B #9203526 zu verkaufen

MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 602B
ID: 9203526
PVD Thin film sputtering system (2) Chambers Loadlocked Turn-key.
MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 602B ist eine hochpräzise, hocheffiziente Sputteranlage, die für die Abscheidung von Dünnschichtmaterialien aus Metallen, Dielektrika und Oxiden entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, gleichmäßige, hochwertige Folien mit einem breiten Spektrum von Dickenvariationen und einer hervorragenden Kontrolle der Oberflächeneigenschaften zu produzieren. MEIVAC 602B verwendet Magnetron-Sputtertechnologie, bei der beschleunigte Ionen in einer Kammer erzeugt werden, die dann mit einem Ziel von Material zur Abscheidung kollidieren. Dieses Gerät ist mit einer Reihe von Funktionen für die Anpassung zusätzlich zur Standardisierung, so dass es eine zuverlässige Wahl für Dünnschichtabscheidung. ALCATEL 602B ist mit einer Kammer mit 200mm Durchmesser und zwei Targets ausgestattet, die unabhängig oder gleichzeitig zur Abscheidung verwendet werden können. Seine Vakuumpumpen bestehen aus Wurzeln und Turbopumpen, um bis zu 8x10-7 Torr zu erreichen, so dass es mit einer breiten Palette von Materialien arbeiten. Es hat auch die Fähigkeit, die Temperatur mit einem Wärmetauscher zu steuern, um das Substrat und die Abscheidungstemperatur genau zu steuern. Eine Vielzahl von Stromversorgungen sind auch verfügbar, einschließlich DC, dB und gepulste Leistungspegel, sowie einstellbare Frequenz- und Substratvorspannungsfunktionen. Für ausgewählte Prozesse kann die Maschine insgesamt mit Geschwindigkeiten von über 100 Angströmen pro Sekunde arbeiten. Darüber hinaus ist 602B mit spezialisierten Ventilen, einem Gasmischwerkzeug sowie fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen ausgestattet, mit denen Folien mit Genauigkeit abgeschieden werden können. Seine benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht es Benutzern auch, Prozessparameter aus der Ferne zu überwachen, was es zu einer großartigen Option für eine Vielzahl von Ablagerungsanwendungen macht. Die Anlage kann auch in eine größere Produktionslinie integriert werden, und zusätzliche Förderer, Waferlader und spezialisierte Düsenmodule können verwendet werden, um maximale Präzision und Flexibilität zu bieten. Insgesamt ist COMPTECH 602B ein hochentwickeltes Modell, das in der Lage ist, einheitliche Folien von hoher Qualität und hoher Konsistenz für ein breites Anwendungsspektrum herzustellen. Durch den Einsatz von Präzisionssputtertechnologie sind Anwender in der Lage, exakte und zuverlässige Ergebnisse über eine Reihe von Materialien und Substraten zu erzielen. Die fortschrittlichen Funktionen und Automatisierungsfunktionen dieser Ausrüstung bieten Anwendern zudem verbesserte Kontrolle und Genauigkeit.
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