Gebraucht MRC 603 #293658459 zu verkaufen
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ID: 293658459
Wafergröße: 2" - 6"
Weinlese: 1987
Sputtering system, 2"-6"
No compressor
No chiller
Pump
Capacity:
36 – 2" (5 cm) diameter wafers
or 16 – 3" (7.6 cm) diameter wafers
or 9 – 4" (10 cm) diameter wafers
or 5 – 5" (12.5 cm) diameter wafers
or 4 – 6" (15 cm) diameter wafers
1987 vintage.
MRC 603 Sputterausrüstung ist eine magnetisch verbesserte, emissionsarme, extrem hochvakuumbetriebene Vorrichtung, die verwendet wird, um Dünnschicht-Mikrostrukturen auf Substraten abzuscheiden und gleichzeitig Schäden und Kontaminationen durch Ultraniederdruckbetrieb zu minimieren. Im Kern besteht das 603-System aus einer 3-Zoll-Kammer und einem Molybdän-Magnetron-Sputter mit einer Gleichstromversorgung, einem Regler und einem Massenstromregler, um optimale Prozessbedingungen zu erhalten. Diese Einheit wurde speziell entwickelt, um Materialien mit hoher Reinheit und Gleichmäßigkeit abzuscheiden, um die Geräteleistung zu maximieren und gleichzeitig die Kontrolle über Prozessparameter wie Substrattemperatur und Sputterrate bereitzustellen, um die Filmeigenschaften leicht zu ändern. Darüber hinaus sorgt sein emissionsarmes Design für minimale Sputterausbeute und eine sauberere Umgebung. Die Maschine verwendet eine gleichstromreaktive Sputterquelle, bestehend aus einem eingebauten Magneten und einer Elektronenstrahlkanone, um kontrolliertes Partikelbeschuss zu liefern, was zu einer gleichmäßigen, hochstabilen Filmabscheidung führt. Der Magnet leitet den Ionenstrom auf das Substrat zu, das in einer konzentrischen Position zum Magnetron-Zerstäubungskopf gehalten wird, und hilft, die energetischen Partikel gleichmäßig über die Oberfläche des Substrats zu verteilen. Durch die Steuerung von Sputterleistung und Druck kann das Werkzeug Materialien mit konsistenter Kornstruktur und optimalen Materialeigenschaften abscheiden. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einer Vakuumpumpenverriegelung und einem Notstopp, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Es enthält auch ein Sichtfenster und eine entfernte Videokamera mit einem Monitor, so dass Benutzer den Prozess in Echtzeit beobachten können. Das Sputtermodell MRC 603 eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum sowohl in der Forschung als auch in der Industrie und eignet sich ideal für die Herstellung von Dünnschicht-Mikrostrukturen. Es ist eine effiziente, kostengünstige Lösung für die Herstellung hochwertiger Folien mit konsistenten Eigenschaften.
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