Gebraucht MRC 603 #293666830 zu verkaufen

MRC 603 ist eine vielseitige und zuverlässige Sputterausrüstung, die von Nova Instruments, Inc. für Dünnschichtabscheidungsprozesse entwickelt und hergestellt wurde. Das System verfügt über einen kreisförmigen, 9-Behälter-Vierarmrevolver, der eine optimale Abscheidegeometrie und eine große Prozessflexibilität bietet. Der Revolver enthält eine Ladekarte, die bis zu sechs verschiedene Prozesse oder Materialien steuern kann. 603 nutzt eine vollautomatische Prozesssteuerung mit einer Touch-Screen-SPS, unabhängigen DC-Powersupplies und Prozess-Containment-Funktionen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Abscheidungen wiederholbar und sicher sind. Das Gerät ist auch für DC- und HF-Sputterkonfigurationen ausgelegt, sodass Benutzer die Maschine an ihre genauen Prozessanforderungen anpassen können. Die Steuerstation des Werkzeugs kann bis zu 20 verschiedene Rezepte zur Prozessüberwachung speichern. MRC 603 verfügt über einen integrierten Gashandling-Verteiler, der eine einfache Integration in die vorhandene Vakuuminfrastruktur ermöglicht. Mit einem maximalen Gasstrom von 2,5 l/min ermöglicht dieses Modell eine effiziente Zuführung von Gasen in die Prozesskammer. Darüber hinaus ermöglicht der offene HF/DC-Generator des Geräts eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit, während das Dual-Magnetron-Design eine ideale Sputterumgebung bietet. Zu den weiteren Merkmalen von 603 gehört eine 91-Zoll-Kammer, die für eine ausreichende Prozessfläche und einen hohen Durchsatz ausgelegt ist. Die Verwendung eines 6-Zoll-Teflonfensters ermöglicht es dem System, Prozessmaterialien wie Indium, Wolfram, Molybdän, Aluminium, Edelstahl und Legierungen zu sputtern. Das Teflon-Fenster bietet zudem überlegene optische Klarheit für optische Anwendungen wie Dünnschicht-Photovoltaik. Insgesamt ist MRC 603 eine hochwertige Sputtereinheit mit allen Funktionen, die zur Unterstützung von Dünnschichtabscheidungsprozessen auf Laborebene erforderlich sind. Die Maschine ist effizient, zuverlässig und kostengünstig und in Verbindung mit ihren fortschrittlichen Funktionen ist sie auch für große industrielle Anwendungen geeignet.