Gebraucht MRC 603 #293774499 zu verkaufen
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ID: 293774499
Wafergröße: 12"
Sputtering system, 12"
GASONICS L3510 Microwave plasma asher
Deposition, 4"
Compressor for cryo pump
Does not include rough pump.
MRC 603 Sputterausrüstung ist ein anspruchsvolles und vielseitiges Dünnfilm-Abscheidungswerkzeug, das häufig in der Halbleiterindustrie zur Herstellung hochwertiger dünner Filme mit präziser Kontrolle über Filmdicke, Zusammensetzung und Gleichmäßigkeit verwendet wird. Dieses System verwendet Magnetron-Sputtertechnologie, eine weit verbreitete physikalische Dampfabscheidungstechnik (PVD), um dünne Filme auf Substraten abzuscheiden, indem Material von einem Target auf eine Substratoberfläche gesputtert wird. Zu den wichtigsten Komponenten der 603-Sputtereinheit gehören eine Vakuumkammer, Magnetron-Sputterquellen, Netzteile, Gasliefermaschine, Substrathalter und Steuerwerkzeug. Die Vakuumkammer bietet eine Umgebung mit niedrigem Druck, um Verschmutzungen zu verhindern und einen effizienten Sputterprozess zu ermöglichen. Die Magnetronsputterquellen, typischerweise aus einem Targetmaterial wie Metallen oder Oxiden, sind für die Erzeugung von Plasma und das Ausstoßen von Materialatomen auf das Substrat verantwortlich. Die Stromversorgung versorgt die Sputterquellen mit der notwendigen elektrischen Energie zur Plasmaerzeugung und Ionisation des Gases. Die Gasförderanlage in MRC 603 ermöglicht eine präzise Steuerung der Gaszusammensetzung und des Drucks innerhalb der Vakuumkammer, wodurch reaktive Sputterprozesse ermöglicht werden, bei denen ein reaktives Gas zur Bildung von dünnen Verbundfilmen eingebracht wird. Der Substrathalter dient zum sicheren Halten und Positionieren des Substrats während des Sputterprozesses, wodurch eine gleichmäßige Abscheidung über die Substratoberfläche gewährleistet ist. Das Steuermodell von 603 Sputteranlagen regelt und überwacht verschiedene Prozessparameter wie Abscheiderate, Zielleistung, Gasdurchflussrate und Substrattemperatur, um gewünschte Filmeigenschaften zu erreichen. Eines der Hauptmerkmale des MRC 603 Sputtersystems ist seine Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien wie Metalle, Legierungen, Oxide und Nitride mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit abzuscheiden. Dieses Gerät bietet Flexibilität in der Folienzusammensetzung und -dicke, indem es die Verwendung verschiedener Zielmaterialien und Sputterbedingungen ermöglicht. Zusätzlich bietet 603 eine ausgezeichnete Filmgleichförmigkeit und gute Haftung auf dem Substrat, wodurch es für verschiedene Anwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Magnetspeicherindustrie geeignet ist. MRC 603 Sputtermaschine ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Diese Merkmale umfassen Verriegelungen, Vakuumüberwachungssysteme, Überdruckschutz und Notabschaltmechanismen, um Unfälle zu vermeiden und den Benutzer und die Ausrüstung zu schützen. Regelmäßige Wartung und Kalibrierung des Werkzeugs sind unerlässlich, um seine Leistung zu erhalten und seine Lebensdauer zu verlängern. Abschließend ist die Sputteranlage 603 ein leistungsstarkes Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung, das Präzision, Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie bietet. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten und der benutzerfreundlichen Oberfläche ist dieses Modell ein wertvolles Gut für Forschung und Entwicklung, Produktion und Qualitätskontrolle von Dünnschichtmaterialien.
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