Gebraucht MRC 603 #9161023 zu verkaufen
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MRC 603 ist eine hochmoderne Sputteranlage zur Dünnschichtabscheidung. Dieses System verwendet magnetisch verbesserte reaktive Sputterabscheidung (MARS), um dünne Filme mit ausgezeichneter Homogenität und überlegenen elektrischen und optischen Eigenschaften abzuscheiden. 603 ist mit einem 3D-positionierbaren Substrathalter zur präzisen Positionierung von bis zu 5 Substrattypen ausgestattet. Dieser fortschrittliche Substrathalter in Kombination mit dem axialen Magnetron sorgt für ein homogenes Filmwachstum bei jedem Sputterprozess. Die Sputterquelle verfügt auch über computergesteuerte Leistungsstufen, die für verschiedene Prozessbedingungen wie Abscheiderate, Zusammensetzung oder Spannung eingestellt werden können. MRC 603 verfügt über eine geschlossene Gasstromeinheit, die einen gepulsten Massenstromregler und mehrere Gasleitungen für die Gasmischung verwendet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Gaszusammensetzung und Reinheit und ermöglicht auch ein schnelles Zyklen verschiedener Prozessgase. Die Gasströmungsmaschine ist außerdem mit einem RTG (Real-Time Gas Monitoring) -Werkzeug ausgestattet, das die Gaszusammensetzung in der Sputterkammer jederzeit überwacht. 603 verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, die entwickelt wurden, um den Benutzer und die Anlage zu schützen. Dazu gehören ein Not-Aus-Knopf, eine Überdruckanzeige, ein Anti-Corona-Modell und eingebaute Gaslecksuch- und Spülsysteme. Darüber hinaus verfügt MRC 603 über einen Weitwinkel-Viewing-Port, mit dem der Benutzer den Vorgang von außerhalb der Sputterkammer aus beobachten kann. Dies bietet eine bequeme Möglichkeit, den Abscheidevorgang zu überwachen, ohne die Tür zur Kammer öffnen zu müssen. 603 ist auch mit einer ferngesteuerten Benutzeroberfläche ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, das Gerät von einem entfernten Standort aus einzurichten und auszuführen. Dies verbessert die Benutzererfahrung erheblich und ermöglicht es Benutzern, den Abscheidungsprozess jederzeit zu verfolgen. Insgesamt ist MRC 603 ein fortschrittliches Sputtersystem, das eine breite Palette von Fähigkeiten zum Abscheiden von dünnen Filmen mit ausgezeichneter Homogenität und überlegenen elektrischen und optischen Eigenschaften bietet. Mit seinen zahlreichen Sicherheitsmerkmalen, der präzisen Gasmischung und der ferngesteuerten Benutzeroberfläche ist 603 die ideale Sputtereinheit für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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