Gebraucht MRC 603 #9206603 zu verkaufen

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MRC 603
Verkauft
Hersteller
MRC
Modell
603
ID: 9206603
Sputtering systems.
MRC 603 ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung, die von Materials Research Corporation hergestellt und verkauft wird. Das System ist speziell für Anwendungen konzipiert, bei denen eine ultraglatte, hochabscheidende, konforme Schichtabscheidung erforderlich ist. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Vorreinigungskammer, einer Hochvakuumabscheidekammer, einem Hochdruckgas septa, einer Stromversorgung und einem Vakuumsteuermodul. Die Vorreinigungskammer der Maschine ist mit einer fortschrittlichen Niederdruck-Mikrowelle mit hoher Intensität und einer EUV-Lichtquelle ausgestattet. Diese Kammer dient zur Vorreinigung der Substratoberfläche vor der Sputterabscheidung. Dies hilft, die Oberflächenreinheit und die Haftung der abgeschiedenen Folie zu optimieren. Die Abscheidung erfolgt in der Hochvakuum-Abscheidekammer, die mit einem Hochvakuum-Septa verschlossen ist. Der In-situ-Druck ist von 0,1 mtorr bis 20 Torr einstellbar und das Prozessgas ist von 1 bis 99% einstellbar, was eine Abscheidung von Folien bei einem weiten Bereich von Druckniveaus ermöglicht. Das Netzteil bietet eine breite Palette von HF-Leistungsstufen und eine stabile Frequenz von 10 kHz bis 5 MHz. Das Substrat wird während des Sputterprozesses gedreht, um eine gleichmäßige Filmabscheidung zu gewährleisten. Zur Erzielung der gewünschten Metallisierungseffekte können verschiedene Abscheidungsgase wie Argon, Sauerstoff und Stickstoffgase eingesetzt werden. Die Anwendung unterschiedlicher Verhältnisse von Basis-zu-Edel-Gasen ermöglicht eine breite Palette von Abscheidungsgeschwindigkeiten. Das Vakuumsteuermodul ermöglicht die Aufrechterhaltung eines stabilen Basisdrucks während der gesamten Abscheidung. 603 ist ein ideales Sputterwerkzeug für die hochwertige Dünnschichtabscheidung. Die Anlage kann eine breite Palette von Substraten aufnehmen, von KOH-Kristallen und Quarzglas bis hin zu dicken Wafern und Leiterplatten. Das Modell eignet sich auch für eine Vielzahl von Hochleistungs-Dünnschichttechniken, einschließlich physikalischer Dampfabscheidung, chemischer Dampfabscheidung, Sputtern und Magnetronsputtern. Schließlich ist die Ausrüstung sehr zuverlässig und einfach zu bedienen - so dass es eine ideale Wahl für diejenigen in der wissenschaftlichen Gemeinschaft.
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