Gebraucht MRC 603 #9269412 zu verkaufen

MRC 603
Hersteller
MRC
Modell
603
ID: 9269412
Wafergröße: 4"
Sputtering systems, 4".
MRC 603 ist eine Sputterausrüstung für die Dünnschichtabscheidung. Es ist eine Hochvakuum-, Hochleistungs- und vielseitige Plattform zum Sputtern von dünnen Filmen sowohl im DC- als auch im HF-Modus. 603 verfügt über ein einzelnes Elektronengewehr und zwei leistungsstarke Magnetronsputterquellen, die sowohl planare als auch zylindrische Ziele erzeugen können. Das System nutzt eine turbogepumpte Hochvakuumkammer mit einem Basisdruck, der besser als 5x10-5 Torr ist und extrem hohe Vakuumbedingungen ermöglicht. Die benutzerfreundlichen Controller, die sowohl manuelle als auch automatische Bedienung unterstützen, bieten eine intuitive und einfache Bedienung und Steuerung für MRC 603. Die Einheit umfasst Prozessparameter wie Temperatur, Druck, Abscheiderate und Filmdicke. Es verfügt auch über andere erweiterte Funktionen wie Frequenzanpassung, Pulssputtern und auswählbare Prozesse. 603 verfügt über zwei planare Magnetron-Steuergeräte, die es dem Benutzer ermöglichen, vier planare Magnetron-Sputter-Ziele bei unterschiedlichen Temperaturen zu steuern. Diese Einheiten weisen den Betriebsenddetektor auf, der den Sputtervorgang bei Erreichen der gewünschten Filmdicke stoppen kann. Die konzentrierte Ionenstrahlquelle (CIB) bietet die Möglichkeit, Materialien mit Präzision und Genauigkeit zu sputtern. Es verfügt über zwei einstellbare Arbeitsabstände mit manueller oder automatischer Modussteuerung. Der CIB ist in der Lage, hochwertige Folien aus Legierungen und anderen Materialien herzustellen. Der Mehrkammerbetriebsträger am MRC 603 ermöglicht es, bis zu drei Kammern miteinander zu verbinden und gleichzeitig zu betreiben oder in jeder Kammer separate Prozesse insgesamt durchzuführen. Dies ist vorteilhaft für Anwender, die mehrstufige Ablagerungen benötigen. 603 stellt eine einstellbare HF-Stromquelle zur externen Anpassungsnetzwerksteuerung der Magnetronsputterquellen zur Verfügung. Die Gleichstromquelle ermöglicht es dem Benutzer, die Spannung für die Elektronenkanone einzustellen und schützt die Maschine vor Überspannungs- oder Überstromsituationen. MRC 603 ist eine ausgezeichnete Wahl für kostengünstige und hochwertige Dünnschichtabscheidung für verschiedene Anwendungen. Dank seiner Vielseitigkeit und benutzerfreundlichen Oberfläche eignet es sich sowohl für die Forschung als auch für die industrielle Dünnschichtverarbeitung.
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