Gebraucht MRC 603 #9286006 zu verkaufen

MRC 603 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung, die speziell für die Großproduktion von Dünnschichtmaterialien entwickelt wurde. Diese integrierte Kammer ist ideal für Anwendungen wie Solarzellenfertigung, flexible OLED-Geräte und Flachbildschirme. Das System besteht aus einer kompakten und kompakten Sputterquelle, motorisiertem Rotationszielscanner mit bis zu 160 Grad Abtastbereich, HF/DC-Netzteilen mit einstellbarer Leistung und programmierbaren Sollwerten, Substratheizungen, Temperaturreglern und Gasverteiler. Die Hochleistungs-HF/DC-Netzteile ermöglichen hohe Abscheideraten und eine gleichmäßige Sputterabscheidung auf den Substraten. Der motorisierte Rotationszielscanner ermöglicht eine präzise Steuerung des Abscheidegebiets und bietet eine breite Palette von anpassbaren Substratgrößenkonfigurationen. Darüber hinaus gewährleisten die Temperaturregler und Substratheizungen eine gleichmäßige Temperaturverteilung, was eine qualitativ hochwertigere, gleichmäßigere Filmabscheidung ermöglicht. 603 ist mit einer gut konstruierten Vakuumeinheit ausgestattet, die über ein innovatives turbobasiertes Design, eine robuste Gasdichtung und hochwertige modulare Komponenten verfügt. Das berücksichtigt eine Prozessraumdruck-Reihe von 10E-7 zu 1000 millitorr, mit der Hochgeschwindigkeitspumpe unten Zykluszeit. Die Maschine enthält auch einen zuverlässigen Massendurchflussregler, der eine genaue Gasfluss- und Druckregelung gewährleistet. Das intuitive benutzerfreundliche Touchscreen-Menüwerkzeug macht es einfach, Parameter zu programmieren und anzupassen und ermöglicht die Rezepteinstellung und -übertragung aus mehreren Quellen. Die Ferndiagnosefunktion bietet Echtzeitüberwachung und ermöglicht es Prozessbegleitern, den Überblick über die Prozessbedingungen zu behalten. Die zuverlässige und robuste mechanische Konstruktion von MRC 603 entspricht den höchsten Standards für Sicherheitsprotokolle in industriellen Prozessen, wie z. B. EMC Compliance. Es ist für einen störungsfreien Betrieb und eine minimale Wartung konzipiert, mit seiner zuverlässigen und überlegenen Leistung bietet 603 Sputtering Asset einen außergewöhnlichen Wert für große Produktionsläufe.