Gebraucht MRC 643 #83146 zu verkaufen

MRC 643 ist eine Mehrkammer-Sputterausrüstung, die zur Abscheidung dünner Filme durch physikalische Dampfabscheidung (PVD) entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche Abscheidungssystem bietet zuverlässige und reproduzierbare PVD-Prozesse für eine Vielzahl von Kunden. 643 hat sechs Prozesskammern: drei Lastschlösser, eine Transferkammer, eine Lastkammer und eine Produktionskammer. Spezielle Legierungskonstruktion, aus Edelstahl und eloxiertem Aluminium, bietet extrem langlebige und konsistente Kammerwandflächen, um überlegene Abscheidungsergebnisse zu unterstützen. Das Gerät verfügt zudem über eine einzigartige aktive Hohlraumpumptechnologie, die schnelle und effiziente Prozesse für verschiedenste Anwendungen ermöglicht. Diese inerte, ultrahochvakuumierende Maschine kombiniert fünf separate Vakuumpumpen, wie eine Turbomolekularpumpe und eine Diffusionspumpe, um den Druck in jedem ihrer Prozesse mit Genauigkeit, Stabilität und Ruhe zu steuern. Alle sechs Kammern trennen sich, so dass sie gesondert gereinigt und präzise bearbeitet werden können, unter Beibehaltung von Drücken und Vakuum. Die Lastkammer und die Transferkammer weisen ebenfalls eine Lastsperre auf, so daß auch bei Belegung der Lastkammer unterschiedliche Vorgänge stattfinden können. Die Produktionskammer ist mit einer Vielzahl von verfahrenstechnischen Komponenten ausgestattet. Es verfügt über einen 40 kW kapazitiv gekoppelten HF (13,56 MHz) -Generator, der entwickelt wurde, um die angetriebenen Quellen schnell zu erhöhen, ohne einen Lichtbogen zu verursachen. Es gibt zwei 20-Zoll-Sputter-Netzteile zur Erzeugung hoher Leistungsstufen und zwei 2-Zoll-Quellen für niedrigere Stromversorgung und Sputter-Reinigung. Ein 18-Ziel, 4 "-Cluster-Tool bietet Flexibilität für eine Vielzahl von Anwendungen, zusammen mit mehreren reaktiven Ionenätzen (RIE) und PVD-Funktionen (Physical Vapor Deposition). Das proprietäre Design des MRC 643 reduziert die Komplexität des Sputterwerkzeugs. Die Ausrichtung der Quellen und die Möglichkeit, sie von einem einzigen Punkt aus zu kontrollieren, vereinfacht die Wartungs- und Betriebsabläufe. Die gesamte Anlage lässt sich leicht in bestehende Produktionsanlagen integrieren und trägt zur Steigerung von Produktivität und Effizienz bei. Zusammenfassend ist 643 ein Hochleistungs-Mehrkammersputtermodell, das zur Abscheidung dünner Filme durch physikalische Aufdampfung (PVD) entwickelt wurde. Mit sechs Kammern, einem 40-kW-HF-Generator, zwei 20-Zoll-Sputternetzteilen, zwei reaktiven Ionenätzen (RIE) und PVD-Funktionen (Physical Vapor Deposition) ist es perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen. Darüber hinaus sorgt die aktive Hohlraumpumptechnologie für schnelle und effiziente Prozesse, während proprietäre Konstruktion die Wartung und Betriebsabläufe vereinfacht. All diese Eigenschaften dieser fortschrittlichen Abscheideausrüstung machen es sehr zuverlässig und reproduzierbar.