Gebraucht MRC 643 #9124209 zu verkaufen
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ID: 9124209
PVD Sputtering system
CTI 4 cryo pump on load lock chamber
Preheat station
CTI Cryo 8 pump
RF Etch station
(3) DC Cathodes
(3) Gas channels.
MRC 643 ist ein hoher Leistungs-DC magnetron stotternde Ausrüstung, die entworfen wird, um hohe Durchflussabsetzung von Materialien für eine Vielfalt von Anwendungen zu ermöglichen. Es hat eine konfigurierbare Dreizonenkammerkonfiguration, die bis zu drei Abscheidekathoden unterstützen kann, wodurch Mehrschichtfolienstapel hoher Dichte möglich sind. Das System ist mit einer Stromversorgung von bis zu 5000 Watt ausgestattet und kann eine Sputterleistung von bis zu 2500 Watt erreichen, was eine Vielzahl von Anwendungen abdecken kann. Die Dreizonenkammerkonfiguration von 643 ist ideal für die Abscheidung von Mehrschichtstapeln, da Substrat und Abscheidekathoden räumlich getrennt werden können, um eine Kontamination des Substrats oder der Abscheidungsschichten zu vermeiden. Darüber hinaus verfügt die Kammer über zusätzliche Merkmale wie eine integrierte Drucksteuereinheit, die eine schnelle und zuverlässige Drucksteuerung mit einem Mindesteinstelldruck von 1 mTorr und einem maximalen Einstelldruck von 4 Torr bietet. Die MRC 643 bietet zudem einen hervorragenden Massentransport zum Substrat, der durch eine Sechs-Finger-Lastverriegelung ermöglicht wird, die einen gleichmäßigen Massentransport zur Substratoberfläche gewährleistet. Die Abscheidegeschwindigkeiten der Folienschichten können leicht gesteuert werden, so daß ein Bereich von Abscheidegeschwindigkeiten von ~ 1-10 Å/s erreicht werden kann. Es ist auch in der Lage, reaktive Sputterprozesse sowie In-situ-Reinigung und Ätzung von Substraten durchzuführen, was eine erhöhte Kontrolle während der Prozessumsetzungen ermöglicht. 643 ist auch mit gut entwickelten Sicherheitsprotokollen ausgestattet, die zuverlässigen Schutz für die Maschine und das Personal bieten. Das gesamte Sputterwerkzeug wird von einer computerprogrammierbaren, proprietären Steuerungssoftware gesteuert. Es ist in der Lage, halbautomatische Prozesse zu erstellen, was Zeit spart und menschliches Versagen reduziert. Insgesamt bietet MRC 643 eine ausgezeichnete Sputteranlage, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien mit hohem Durchsatz zu verarbeiten und zu filmen, was es zu einem idealen Modell für verschiedene Anwendungen der Oberflächentechnik macht.
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