Gebraucht MRC 643 #9206604 zu verkaufen
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MRC 643 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung, die für die langfristige, hochdurchsatzreiche, genaue Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Es verwendet mehrere zielgepumpte Magnetron-Sputterköpfe, die durch einen Hochleistungs-HF-Generator ermöglicht werden, um eine überlegene Kontrolle über gleichmäßige Beschichtungs- und Schichtdicken zu gewährleisten. Das System nutzt seine proprietäre fortschrittliche Film-Wachstum-Engine, um die höchste Ziel-Nutzung und Abscheidung Film Homogenität zu gewährleisten, und ist einfach zu bedienen mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Die Sputterkammer der Einheit ist mit einem oberen Augenbolzen-Netzwerk für einen einfachen Zugang nach innen sowie mit einem Lastverschluss für verbesserte Durchsatzraten ausgestattet. Der untere Abschnitt der Kammer besteht aus zwei getrennten Kammern - eine auf maximal 330 C und die andere auf Trockenätzen ausgelegt - und kann mit bis zu zwei getrennten Substratscheiben beladen werden. Zusätzlich kann die Kammer Substrate mit bis zu 200 mm Durchmesser aufnehmen. Die Maschine verfügt über einen robusten Kühlkreislauf mit zusätzlicher optionaler Temperaturregelung, der Substrattemperaturen bis auf 100 ° C ermöglicht. Die Pulse-Width Modulated (PWM) DC-DC-Wandler haben individuell gesteuerte Ziele, gesteuert durch die GUI. Alle Parameter der Abscheidung werden vom automatisierten Aufzeichnungswerkzeug der GUI gesammelt und gespeichert. Abgesehen von der ultrahohen Abscheidungsrate, die durch die Multiziel-Sputter ermöglicht wird, bietet das Asset eine hervorragende Filmgleichförmigkeit aus allen Sputterwinkeln. Es hat eine hohe Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit von Ergebnissen mit geringer Fehleraufnahme und unübertroffenen Filmeigenschaften. Es bietet auch eine breite Palette von möglichen Stöchiometrien und ermöglicht eine einfache und schnelle Einrichtung für unterschiedliche Abscheidungsanforderungen. Insgesamt hat sich das Sputtermodell 643 zu einem weit verbreiteten Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung entwickelt, insbesondere wenn Genauigkeit und Geschwindigkeit der Schlüssel sind. Es bietet eine überlegene Kontrolle über gleichmäßige Beschichtungs- und Schichtdicken und ermöglicht die Erstellung stabiler, hochleistungsfähiger Folien für eine Vielzahl von Anwendungen.
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