Gebraucht MRC 662 #9248464 zu verkaufen

MRC 662 ist ein hochmodernes Hochleistungs-Sputtergerät von Speion Technologies. Es wurde entwickelt, um das automatisierte, präzise und effiziente Sputtern einer Reihe von Metallen und dielektrischen Materialien auf großen Substraten zu ermöglichen. Es verfügt über einen modularen Aufbau, der eine hohe Vielseitigkeit in Materialien, Prozessen und Konfigurationen ermöglicht. Die Werkstückkammer von 662 hat einen Durchmesser von 400 mm und eine Höhe von 200 mm. Es ist mit zwei elektrostatischen Spannfuttern ausgestattet, die von einem 20-MHz-Generator betrieben werden, um das Werkstück beim Sputtern zu halten. Die Kammer kann Vakuumbelastungen bis 5,33x10 ^ -7 Torr und Prozesstemperaturen im Bereich von 150 bis 420 ° C standhalten. Die Drehscheibenauslegung der Werkstückkammer ermöglicht eine gleichmäßige Bewegung, während sich Elektroden in drei Achsen bewegen, um eine genaue Sputterabscheidung zu ermöglichen. MRC 662 bietet eine Vielzahl von Sputterverfahren, einschließlich Magnetronsputtern, Gleichstrom- und Hochfrequenzsputtern und Differentialsputtern. Für maximale Präzision und Wiederholbarkeit verfügt das Sputtersystem über digitale Dickenregler und Prozessüberwachungsfähigkeit. Darüber hinaus können Benutzer bis zu 8 Sputteroperationen in einem Zyklus programmieren. Die integrierte Einheit verfügt auch über eine programmierbare Gasfördermaschine, die Sputtergasströme während des Sputtervorgangs überwacht und steuert. Ein automatisiertes, hochfrequenzbetriebenes Medienentfang- und Substratreinigungswerkzeug ist ebenfalls enthalten. Darüber hinaus bietet 662 eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen wie vordere und hintere Verriegelungen, einen Not-Aus-Knopf und eine Brandmeldeanlage. Das Sputtermodell integriert HF-Abschirmung, um Interferenzen mit in der Nähe Elektronik zu beseitigen. Insgesamt ist das MRC 662 Sputtergerät von Speion Technologies das perfekte Werkzeug, um einheitliche, wiederholbare und präzise Metall- und Dielektrikumfolien auf großflächigen Substraten zu erzielen. Das vielseitige, automatisierte System ist mit Sicherheitsfunktionen und Komfort im Auge, so dass es die ideale Wahl für alle hochpräzisen Sputteranforderungen.