Gebraucht MRC 693 #9179537 zu verkaufen

MRC 693 ist eine kompakte Sputteranlage für plasmaverbesserte Abscheidungsprozesse. Es handelt sich um ein Drei-Zonen-Sputtersystem mit einer Umlenklastschleuse mit integrierter Vorevakuierungskammer. Das Gerät verwendet einen Standard-Substrathalter mit 300 mm (12 Zoll) und einer passenden Balgbaugruppe und kann bis zu acht Targets mit Durchmessern von bis zu 114 mm (4,5 Zoll) unterstützen. Eine kompakte Prozesskammer ist mit einem Sputter-Netzteil der 400S Serie und einem Hochfrequenznetzteil (HF) ausgestattet, das für eine hohe Abscheidungssteuerung und Substratgleichförmigkeit ausgelegt ist. Die Kammer verfügt außerdem über ein zylindrisches, kippbares, Außer-Vakuum-Lastschloss, um ein einfaches Be- und Entladen des Substrats zu ermöglichen, um die Zykluszeit zu reduzieren. Der Grunddruck von 693 ist durch seine lineare Bewegungs-O-Ring-Dichtungsmaschine und integrierte Kühl- und Heizsysteme sehr stabil. Sein Gasverarbeitungswerkzeug umfasst ein Einlasskühlgut und ein Gaszirkulationsmodell. Eine Turbo-Molekularpumpe, seine primäre Vakuumpumpe, ermöglicht es dem Gerät, einen Betriebsdruckbereich von 10 ^ -7 Torr mit einer Turbo-Geschwindigkeit von 2.700 l/s zu erreichen. MRC 693 wird über eine sehr intuitive Benutzeroberfläche gesteuert und überwacht. Es ermöglicht Anwendern, die Betriebsparameter anzupassen und zu automatisieren und den Prozess effizient zu optimieren. Die Touchscreen-basierte Schnittstelle ermöglicht auch präzise Anpassungen an Sputterleistung, Abscheiderate und HF-Leistung. Der intelligente Rückkopplungsregelkreis sorgt dafür, dass das System mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit läuft. Als Sicherheitsmaßnahme ist das Gerät in zwei Lagen Stahlschränke untergebracht, die vor unerwünschten Röntgenstrahlen schützen. Die Maschine ist auch mit einem Sicherheitsschalter ausgestattet, der im Falle einer Notabschaltung den gesamten Strom an das Gerät abschaltet. Abschließend ist 693 ein sehr vielseitiges und energieeffizientes Sputterwerkzeug. Seine Zuverlässigkeit und intuitive Steuerung macht es zu einer perfekten Wahl für verschiedene Sputterprozesse.