Gebraucht MRC 693 #9302975 zu verkaufen

MRC 693 ist eine Sputterausrüstung, die von MRC entworfen und hergestellt wurde. Es wird in der Forschung und Entwicklung von Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen (IC), optoelektronischen Bauelementen und anderen Dünnschichtanwendungen verwendet. Dieses Hochleistungssystem ist in der Lage, dünne Filme mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und ausgezeichneter Schrittabdeckung über große Flächen abzulegen. Die Hauptkomponenten von 693 umfassen eine Wolfram-Halogen-Lampen, für lineare Beleuchtung von zerstäubten Zielen; eine HF-Stromversorgung und Sputterpistolen; Gasverteilungssysteme; eine integrale Vakuumeinheit; einen drehbaren Substrathalter; und eine Vakuumsteuerung. Die Lampen und die HF-Stromversorgung sind einstellbar, um eine präzise Steuerung der Parameter zu ermöglichen, die für die Ablage hochwertiger dünner Filme erforderlich sind. Die Wolfram-Halogen-Lampen werden mit einer einstellbaren Stromsteuerung verwendet, um einen einstellbaren Bereich der radiometrischen Leistung für eine gleichmäßige Beleuchtung des zerstäubten Ziels bereitzustellen. Die HF-Stromversorgung dient dazu, den Plasmazustand zu erzeugen, der für das Aufsputtern von Zielmaterial auf das Substrat erforderlich ist. Ein einzigartiges Merkmal von MRC 693 ist die Gasverteilmaschine. Es verwendet patentierte Gasinjektoren, um die während des Sputterprozesses verwendeten Gase zu steuern; dies gewährleistet eine gleichmäßige Zerstäubungsrate auf großen Substraten. Das Gasverteilwerkzeug ermöglicht auch einen guten Druckbereich, der für die Aufrechterhaltung einer hochwertigen Filmabscheidung von entscheidender Bedeutung ist. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer integrierten Vakuumanlage ausgestattet, die eine Drehflügelvakuumpumpe verwendet, um einen Basisdruck von 2 mbar oder weniger zu erreichen. 693 ist ein vielseitiges Sputtermodell, das für eine Reihe von Dünnschichtanwendungen gut geeignet ist. Es kann dünne Filme mit ausgezeichneter Schrittabdeckung über große Bereiche ablegen und bietet ausgezeichnete Wiederholbarkeit. Darüber hinaus bietet MRC 693 eine hervorragende Gleichmäßigkeit, was in vielen Anwendungen wichtig ist. Seine einstellbaren Parameter und einstellbaren Gasverteiler machen es auch einfach, in einer Reihe von verschiedenen Anwendungen zu verwenden.