Gebraucht MRC 8667 #293655700 zu verkaufen

MRC 8667
Hersteller
MRC
Modell
8667
ID: 293655700
Sputtering system.
MRC 8667 ist eine kompakte, HF-Magnetron-Sputteranlage zur Herstellung präziser Folienbeschichtungen. Es ist für den Betrieb in einer Gleichstrom (DC) -betriebenen Umgebung konzipiert und bietet eine breite Palette von Funktionen, um die Qualität und Gleichmäßigkeit von Anwendungen zu verbessern. 8667 eignet sich für eine Vielzahl von Arten von Anwendungen, von der Allzweck-Dünnschichtbeschichtung bis hin zur speziellen nanoskaligen Abscheidung und sogar fortgeschrittenen Beschichtungsanwendungen, wie sie sich auf harte Beschichtungen und Schutzschichten beziehen. Es ist entworfen, um anspruchsvolle Substrate wie diamantähnlichen Kohlenstoff (DLC) und teure Low-K-dielektrische Filme zu behandeln. MRC 8667 besteht aus einer Prozesskammer mit einem abgedichteten Glockenglas und einer Fähigkeit, bis zu fünf verschiedene Kathoden zu unterstützen, zusammen mit einer Auswahl an Substraten und anderen notwendigen Geräten. Es hat einen maximalen Arbeitsdruck von bis zu 10 Torr und eine Basistemperatur von -10 ° C. Die Temperatur wird durch einen PID-Regler geregelt und die Prozessgase werden über Massenstromregler (MFCs) eingeleitet. Weitere Merkmale der Kammer sind ein Quarzbeobachtungsfenster, eine Spülöffnung und ein elektrostatisches Spannfutter, um das Substrat während der Verarbeitung zu halten. Das System umfasst auch eine integrierte Hochfrequenz (HF) -Stromversorgung, die bis zu 3 kW sputtern kann, um eine gleichmäßige Beschichtung höherer Qualität über großflächige Substrate bereitzustellen. Die Stromversorgung unterstützt auch den Betrieb verschiedener Abscheideprozesse mit zusätzlichen Optionen wie Magnetrondrehung und Pulsbetrieb. Solche Optionen bieten selektiv einstellbare Leistungsstufen, um eine feinere Kontrolle der Folienqualität und -struktur zu schaffen. Es verfügt außerdem über eine digitale Überwachungseinheit zur Überwachung der Prozessbedingungen und zur Rückverfolgbarkeit der für jeden Beschichtungsauftrag verwendeten Parameter. 8667 verfügt auch über erweiterte Diagnosefähigkeiten, wie MRC Resolve™ Messmaschine mit In-situ-Diagnose, die hochgenaue Messungen von Filmen bietet, die unter Betriebsbedingungen abgeschieden werden. Dies hilft Forschern, Substrate in Echtzeit zu messen und dabei die Abscheidungsbedingungen und die Eigenschaften des Films zu untersuchen. Darüber hinaus ist dieses Werkzeug auch in der Lage, Betriebsprofile zu steuern und liefert Verzögerungszeiten zwischen den verschiedenen Bearbeitungsschritten. MRC 8667 Sputteranlage bietet viele Vorteile für die Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen. Es bietet einen kompakten und modularen Aufbau für eine schnelle und effiziente Installation innerhalb eines Workflows. Das Modell ist einfach zu bedienen und hat mehrere Möglichkeiten, den Prozess zu steuern, was zu Folien mit hoher Gleichmäßigkeit und Qualität führt. Darüber hinaus wird es für seine Rückverfolgbarkeit, On-Board-Diagnostik und geringe Kontamination geschätzt, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist.
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