Gebraucht MRC 8667 #9239313 zu verkaufen

MRC 8667 ist eine vielseitige DC/RF Sputter Abscheidung Ausrüstung von angewandten Materialien produziert. Dieses Abscheidungssystem ist für Halbleiterindustrien konzipiert, da es einen drehbaren Wärmeschild verwendet, um mehrere Prozesse in einer Einheit zu kombinieren. Diese Maschine bietet präzise Prozessintegration, gleichmäßige Beschichtung, optimalen Durchsatz und hohe Betriebszeit. Das Werkzeug verfügt über eine große (2.3m x1.0m x1.5m) Kammer und erweiterte integrierte Hardware, einschließlich Quarzduschkopf, drehbares Wärmeschild, Kryopumpe, Basisdruckmonitor und Acht-Kanal-Prozessregler. Die thermische Abschirmung ermöglicht die gleichzeitige Sputterbeschichtung von bis zu vier Wafern im selben Modul, wodurch die gesamte Sputterzeit um bis zu 70% reduziert wird. Darüber hinaus ermöglichen der Basisdruckmonitor und die erweiterte integrierte Hardware es dem Asset, optimierte Einstellungen wie Temperatur, Druck und HF-Leistung beizubehalten, was zu überlegenen Filmeigenschaften und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit führt. 8667 Modell bietet ein hohes Maß an Flexibilität und ist in der Lage, einzelne oder mehrere HF-Leistungen, präzise und wiederholbare Abscheidung einer Vielzahl von Filmen mit verschiedenen Zielen und Leistungen, und mehrere Rezepte mit unterschiedlichen Arbeitszyklen und Gasströmen. Der Einsatz separater Kammerkomponenten für Dusche und Substrat sorgt für minimale Wartung bei schnellen Umdrehungszeiten. Darüber hinaus ist die Ausrüstung auf Energieeinsparung ausgelegt, was bedeutet, dass sie nahezu null Emissionen erzeugt und weniger als 1.3kW Strom auf einer 1,2 m2 Grundfläche benötigt. MRC 8667 beinhaltet auch modernste Prozesssteuerungssoftware zur Präzisionsverwaltung von benutzerdefinierten Prozessen. Mit dieser Software können Benutzer den Sputterprozess überwachen, steuern und ändern. Benutzer können auch softwarebasiert zugreifen stottern Absetzungspakete, um Leistung auf komplizierten Anwendungen wie Silikon auf dem Isolator zu maximieren, stottern Absetzung und Metalloxydhalbleiterherstellung. Abschließend ist 8667 Sputtersystem eine fortschrittliche Sputterabscheidungseinheit, die Präzisionsprozessintegration, gleichmäßige Beschichtung, optimalen Durchsatz und hohe Betriebszeit bietet. Darüber hinaus bietet die integrierte Hard- und Prozesssteuerungssoftware eine hohe Flexibilität und ermöglicht eine präzise und wiederholbare Abscheidung unterschiedlichster Folien mit unterschiedlichen Gasströmungen und Arbeitszyklen. Die Maschine ist eine ideale Lösung für Halbleiterindustrien, die die Leistung bei komplexen Anwendungen maximieren möchten.