Gebraucht MRC 902 #50686 zu verkaufen
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ID: 50686
Sputtering system
(2) Targets: ANGSTROM SCIENCES planar magnetron, 5x15"
(2) MFC's: UNIT
Controller: TECHWARE 68000
DC power supplies: ADVANCED ENERGY MDX-5
High uniformity shield (used for TaN sputtering): 1% across the pallet
MKS 270 and baratron
GP-303 IG controller
Flat screen monitor
Membrane keyboard.
MRC 902 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die für die Ablagerung von Materialien für wissenschaftliche Forschung und industrielle Anwendungen entwickelt wurde. Es ist mit einer Premium-HF (Radio Frequency) -Quelle und DC (Direct Current) -Substrat-Vorspannung ausgestattet, die eine höhere Präzision und Genauigkeit ermöglicht. Mit einer präzisen Temperaturregelung kann das System präzise Abscheideraten erzielen, die eine präzise Abscheidung verschiedener Materialien mit unterschiedlichen Eigenschaften ermöglichen. 902 ist mit zwei Kathoden ausgebildet: einer Hauptkathode, die in der Lage ist, mehrere Zielmaterialien ohne Neueinstellung der Kathodenposition zu zerstäuben, und einer großen Auswahl von Einzelmaterial-Hilfseinheiten. Die Nebeneinheiten können so konfiguriert werden, dass sie verschiedene Formen und Größen von Zielen aufnehmen und eine Abscheidung über eine Anordnung von Substraten ermöglichen. Darüber hinaus enthält das Gerät eine anspruchsvolle EUV (Extreme Ultraviolet) Komponente, die verwendet wird, um höhere Reinheit Materialien in Schichten so dünn wie 10 Angström zu schaffen. MRC 902 ist mit einer ultrastabilen HF-Liefermaschine und einer robusten Fähigkeit zur Steuerung des Kraftflusses ausgestattet, die präzise und konsistente Materialabscheidungsraten und Abscheidungsdicke ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht das RF Power Tool dem Asset, mehrere Materialien in verschiedenen Kombinationen für hoch zugeschnittene Anwendungen zu sputtern. Der Sputterprozess kann durch die Verwendung einer fortgeschrittenen geschlossenen Temperaturregelung, die eine gleichmäßige Schichtdicke gewährleistet, auf enge Prozesstoleranzen gehalten werden. Das Modell beinhaltet eine integrierte Abgas- und Reinigungsanlage, die die Sauerstoffkonzentration in der Kammer präzise einstellen kann, was für Ablagerungen höchster Qualität sorgt. 902 Sport eine Vielzahl von anderen Funktionen, die es zu einem idealen Sputtersystem für praktisch jede Anwendung machen. Es bietet eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche, die einfach anzupassen und zu überwachen ist. Darüber hinaus bietet das Gerät hochpräzise Messfähigkeiten zur Überwachung und Berichterstattung von Prozessparametern. Schließlich sind Werkzeuge zur Erfassung hochauflösender Bilder des Abscheideprozesses für die visuelle Überwachung enthalten. Insgesamt ist MRC 902 eine hochleistungsfähige Sputtereinheit, die eine beispiellose Leistung und Wiederholbarkeit für Forschung und industrielle Anwender bietet. Es wurde entwickelt, um eine breite Palette von Materialien und Substraten zu handhaben und kann eine hochgenaue und präzise Abscheidung ermöglichen.
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