Gebraucht MRC 902 #9171689 zu verkaufen

MRC 902 ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung für die Dünnschichtabscheidung. Es verwendet Gleichstrom- (DC) oder Hochfrequenz (RF) -Leistungsquellen, um ein rarefied Plasma zu erzeugen, das energetische Ionen enthält, die dann auf das Substrat und die Zielmaterialoberfläche auftreffen, um Sputtern zu verursachen. 902 Sputtersystem besteht aus einer Vakuumkammer, einem Zielhalter, einem Substrathalter und einer Stromversorgung. Die Vakuumkammer ist die Hauptkammer der Einheit, in der der Sputtervorgang stattfindet. Es muss luftdicht sein und ein Vakuum erreichen und aufrechterhalten können. Der Targethalter hält das Sputterzielmaterial, das je nach gewünschtem Dünnschichtmaterial unterschiedlich zusammengesetzt sein kann. Mit dem Substrathalter wird das Substrat gehalten, auf dem der dünne Film aufgebracht wird. Die Stromversorgung ist die Energiequelle, die zur Erzeugung des Plasmas verwendet wird; es kann entweder DC oder RF sein. Die Maschine verfügt über einen zusätzlichen Sauerstoffdruckregler in situ, mit dem der Sauerstoffdruck während des Sputterprozesses für eine bessere Folienqualität eingestellt werden kann. Um eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten, ist das Target auf einer drehbaren Abschirmung montiert, die eine gleichmäßige Abdeckung der Substrate gewährleistet. Um den Sputtervorgang zu starten, muss die Vakuumkammer evakuiert werden. Zwei Pumpen werden verwendet: eine Schrupppumpe, um einen niedrigen Druck zu erreichen, und eine Diffusionspumpe, um den Druck weiter zu reduzieren. Sobald der Druck niedrig genug ist, wird die Stromversorgung verwendet, um ein Plasma innerhalb der Kammer zu erzeugen. Die energetischen Ionen im Plasma können dann auf das Substrat und das Target auftreffen und Sputtern verursachen. Das zerstäubte Material sublimiert und kondensiert dann auf dem Substrat unter Bildung des Dünnfilms. Der Prozess kann mechanisch eingestellt werden und ist einfach zu bedienen. Das Werkzeug ist mit einem automatischen Steuergerät ausgestattet, mit dem der Benutzer die Parameter des Sputterns wie Spannung und Strom leicht anpassen kann. Es verfügt auch über ein Datenerfassungsmodell, mit dem der Prozess in Echtzeit überwacht und Änderungen protokolliert werden können. MRC 902 Sputterausrüstung bietet eine ausgezeichnete Plattform für Dünnschichtabscheidung. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, wie die Herstellung von leitfähigen, optischen und schützenden dünnen Folien. Es ist energetisch effizient und erzeugt einheitliche, homogene Dünnschichtbeschichtungen mit hervorragenden Eigenschaften.