Gebraucht MRC 902 #9400745 zu verkaufen
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ID: 9400745
In-line sputtering system
Missing parts:
Elevator pallet stand
Pallet carrier
Chamber shields
(2) Cathodes
DC Power supply
Convectron gauges for foreline and chamber
Miscellaneous port adapters and switches.
MRC 902 Sputteranlagen können in einer Vielzahl von Forschungsanwendungen verwendet werden, die die Abscheidung von dünnen Schichten und Nanometerschichten erfordern. Es ist ein großflächiges Substratabscheidungssystem, das kleine und große Substrate bis zu einer maximalen Größe von 600x600mm verarbeiten kann. 902 eine Umgebungsdeckenkammer aufweist; der Innenraum ist mit einer luftdämpfenden Doppelschichtkonstruktion für maximale akustische Reduktion und Vibrationsausscheidung beim Sputtern ausgekleidet. Zusätzlich ist die gesamte Kammerausrüstung als komplette Baugruppe abgedichtet und durch eine Rundum-Sicherheitstür weiter geschützt. MRC 902 verfügt über einstellbare planare magnetische und HF interne Spulen, die überlegene Sputtern Gleichmäßigkeit und Qualität Schichtabscheidung bietet. Das Sputtertarget befindet sich in der Mitte der Plattendrehachse und ist von Argongas umgeben, was eine Vielzahl von reaktiven Sputtervorgängen ermöglicht. 902 verfügt auch über eine Vielzahl von Sputtern ausgewählten Kathoden mit austauschbaren Segmenten und verstellbaren Stützstangen, so dass anpassbare Kurven und Abscheidungsprofile. MRC 902 ist auch mit Automatic Batch Interface ausgestattet, mit dem Benutzer die Abscheidungsparameter problemlos programmieren können. Darüber hinaus ermöglicht es computergesteuerte Rezepte, die wiederholt werden können, um konsistente und reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen. Die ABF beinhaltet auch einen eingebauten Timer, der präzise Zeiten und eine genaue Gasflussregelung ermöglicht und eine präzise Kontrolle der Abscheidebedingungen ermöglicht. 902 bietet eine extern gesteuerte Abtastbewegung mit mehreren Achsen und Substratspinner, um eine präzise Substratabscheidung zu gewährleisten. Es ist auch mit einer Evakuierungseinheit nach der Abscheidung ausgestattet, mit einer anpassbaren Evakuierungszeit, die an verschiedene Substrate und Folien angepasst werden kann. Abschließend ist MRC 902 eine fortschrittliche Sputtermaschine, mit der hochwertige Filme und Schichten sowohl auf kleinen als auch auf großen Substraten abgeschieden werden können. Es ist zuverlässig und effizient und bietet eine präzise Kontrolle über Abscheideparameter und Substratpositionierung. 902 bietet ausgezeichnete Sputtergleichförmigkeit, Akustik, Vibrationsreduktion und ist extrem einfach zu bedienen.
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