Gebraucht MRC 902M #9199362 zu verkaufen
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MRC 902M ist eine vollautomatische Sputterausrüstung, die mit präziser Kontrolle über die Sputterabscheidung und überlegene Wartungs- und Sicherheitsfunktionen ausgelegt ist. Es weist eine parallele Anordnung von drei hocheinstellbaren Magnetronquellen auf. Seine große Kammer, seine umfangreiche Prozessflexibilität, Sauberkeit und Zugänglichkeit machen es für die Forschung und Entwicklung verschiedener Materialien wie Metall, Keramik oder Verbundwerkstoffe geeignet. 902M besitzt eine Prozesskammer mit zwei Kathoden mit einem Durchmesser von 150 mm (6 „) und einer Kathode mit einem Durchmesser von 100 mm (4“). Jede ist unabhängig voneinander für Höhe, Einfallswinkel, Drehung und Feldstärke des Magneten einstellbar und kann verschiedene Materialien und unterschiedliche Schichtdicken aufnehmen. Die Magnetkonfigurationen sind einstellbar, um den Präsenzwinkel für gleichmäßige Filmabdeckung und Puls zur Steuerung der Abscheideraten zu optimieren. Die Konstruktion der Prozesskammer umfasst ein Ultraclean Loadlock, zwei Evakuierungsventile, Ballastflaschen und die Kammertür, die den Innenraum vor Verunreinigungen schützt. Die 5-Port-Abgasanlage liefert schnelles Pumpen und hohe Druckgleichförmigkeit. Das Gerät ist mit einer leistungsstarken Steuerungskonsole für den Maschinenbetrieb ausgestattet, mit der Benutzer komplexe Prozesse konfigurieren, Parameter während des Betriebs anpassen und mehrere Aspekte des Geräts in Echtzeit überwachen können. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche und leistungsstarke Online-Überwachung, alarmierende und diagnostische Funktionen. Darüber hinaus ermöglicht der programmierbare PID-Controller den automatischen Betrieb mit benutzerdefinierten Einstellungen. MRC 902M ist ein vielseitiges Sputtermodell mit hervorragenden Sicherheitsmerkmalen. Zu diesen Merkmalen gehören Hochtemperaturalarme, Druckregelverriegelungen zur Vermeidung von Hoch-/Niederdruckfehlern und Prozesswärmealarme. Die effiziente Filtrationsausrüstung besteht aus einem 99,97% effizienten HEPA-Filter, austauschbarem Kohlefilter und Vorfilter. 902M ist ein vielseitiges und zuverlässiges Sputtersystem, das eine präzise Kontrolle der Materialabscheidung ermöglicht. Seine leistungsstarken Eigenschaften und leicht einstellbaren Einstellungen machen das Gerät für eine breite Palette von Forschungs- und Entwicklungsanwendungen geeignet.
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