Gebraucht MRC 903 series #85308 zu verkaufen

MRC 903 series
Hersteller
MRC
Modell
903 series
ID: 85308
Wafergröße: 12"
Vertical / downward sputtering system, 12" Includes: Chamber, load-lock and chassis Cryo pump, helium lines and compressor Rough pump Hydraulic pump Siemens/Omron PLC system with Siemens HMI Computer system, wiring, pneumatics Motor drive system Safety interlock and emergency stop system conforming to current EU SEMI standards 10K DC power supply Full set of documentation containing electrical drawings, user and maintenance manuals (2) cathodes without material (dep material unknown) Control system capable of storing 256 multi-step user selectable recipes, automatic pump-down and cryo regeneration routines.
Die Sputterausrüstung der Serie MRC 903 ist ein Werkzeug auf Produktionsebene, mit dem dünne Filme aus verschiedenen Materialien auf einem Substrat abgelegt werden. Es wurde entwickelt, um eine genaue und wiederholbare Dünnschichtabscheidung über große Produktionsläufe hinweg zu ermöglichen. Das System verwendet DC, RF und gepulste DC-Netzteile, um mehrere Technologieoptionen für die Sputterabscheidung zu erreichen. MRC 903 ist eine fortschrittliche physikalische Bedampfungseinheit, die in der Lage ist, 100nm-500nm dünne Filme über große Substrate und große Produktionsläufe abzuscheiden. Die Maschine umfasst eine Rotationszielbaugruppe, mit der eine Vielzahl von Materialien gesputtert werden können, sowie Optionen für DC- und HF-Magnetron-Sputtern. Die DC-Netzteile sind variabel bis 500 Volt und die HF-Netzteile variabel bis 500 Watt. Das Werkzeug verfügt über eine Reihe von Prozesssteuerungsmerkmalen, die eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses ermöglichen. Dazu gehören eine rechnergesteuerte variable Druckkammer, ein Mehrzonentemperaturregler und eine erweiterte Prozessüberwachung und Steuerung. Die benutzerfreundliche Oberfläche bietet auch erweiterte Programmieroptionen, mit denen komplexe Rezepte nach Belieben entwickelt, gespeichert und abgerufen werden können. Das Sputtermodell MRC 903 verfügt über eine aktive Sichtkammer, die eine In-situ-Betrachtung des Abscheideprozesses ermöglicht, wodurch die Bedingungen in Echtzeit optimiert werden können, um die gewünschten Dünnschichtergebnisse zu erzielen. Zusätzlich kann das Modell mit einer automatisierten Source-to-Sample-Transportausrüstung integriert werden, die eine schnelle, effiziente und wiederholbare Abscheidung von dünnen Schichten über große Substrate ermöglicht. Insgesamt ist das Sputtersystem der Serie 903 eine zuverlässige und fortschrittliche Produktionslösung für die Dünnschichtabscheidung. Mit seinen leistungsstarken Sputterfunktionen, erweiterten Funktionen und Flexibilität für große und kleine Produktionsläufe bietet das Gerät eine effiziente und effektive Lösung für die Dünnschichtabscheidung.
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