Gebraucht MRC 903 #293793591 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
MRC 903 ist eine pulsierende Festkörpersputterausrüstung, die für den Einsatz in der Forschung und Entwicklung von Vakuumabscheidungsprozessen entwickelt wurde. Die hochmoderne Architektur von 903 verfügt über eine gepulste Substrat-Planar-Magnetron-Konfiguration und ist in der Lage, Gleichstrom (DC) und Hochfrequenz (RF) zu sputtern. Es hat einen Leistungsbereich von bis zu 800 W und einen Bereich von Pulsbreiten von 1-400 µs. Die Plattform ist für maximale Flexibilität und Kontrolle von Sputterprozessen ausgelegt. Das MRC 903 Sputtersystem verfügt über eine ein- oder zweiplanare Magnetronkonfiguration mit einem planaren 5 „X 5“ Behandlungsbereich und Quellenabmessungen von 12 „X 12“. Es hat eine Aluminium-Vakuumkammer mit Sichtöffnungen und die Kammer kann auf ein Basisvakuum von 4 x 10-7 Torr mit einem maximalen Betriebsdruck von 10 mtorr gepumpt werden. Die Temperaturregelung und -überwachung wird von einem digitalen Kammer-Thermocontroller von Brooten NSTL-20 verwaltet. Ein Bedienfeld mit einer grafischen Anzeige ermöglicht die Steuerung von Sputterparametern wie Leistung, Pulsbreite, Rate, Frequenz und Substrattemperatur. Benutzerfreundliche Makros ermöglichen die Auswahl optimaler Betriebsparameter mit einem Tastendruck. Die Software umfasst eine breite Palette von vorgegebenen Anwendungsprofilen für bis zu 10 verschiedene Sputterkonfigurationen und mehrere verschiedene Materialien. Ein Massenstromregler erhöht die Genauigkeit durch genaue Dosierung des Gasstroms für reaktive Sputtervorgänge. Hohe Leistung wird durch eine detaillierte Steuerung des optimalen Druckschienenpotentials im Betrieb erreicht. 903 ist ideal für die Abscheidung unterschiedlichster Verbindungen, von Isolatoren bis zu Halbleitern. Es hat eine breite Palette von Anwendungen in der Herstellung von Dünnschichtprodukten wie Halbleitern, Bildschirmen, Solarzellen und Automobilbeschichtungen. Neben hoher Genauigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit bietet MRC 903 einen hohen Durchsatz bei großflächiger Abscheidung und eignet sich für Produktionsprozesse. 903 Sputtereinheit ist sicher und zuverlässig und kann problemlos in bestehende Vakuumaufbauten integriert werden. Es ist gebaut, um zu halten, mit hoher Haltbarkeit Komponenten und geringen Wartungsanforderungen. Die Maschine läuft ruhig und bietet einen kleinen Formfaktor, der sie für enge Räume geeignet macht. MRC 903 ist das perfekte Werkzeug für jedes Reinraumforschungslabor oder Industrieanlage.
Es liegen noch keine Bewertungen vor