Gebraucht MRC 903 #9241895 zu verkaufen

MRC 903 ist eine Sputterausrüstung, die von Advanced Energy entwickelt wurde. Es ist ein Hochleistungssystem, das üblicherweise in physikalischen PVD-Prozessen verwendet wird. Es soll eine präzise Beschichtung und Dünnschichtabscheidung erleichtern. 903 weist eine Einkammerausführung auf. Die Kammer ist aus Aluminium aufgebaut und wird von einer hochpräzisen Festmagnetron-Gleich- oder HF-Stromversorgung angetrieben. Die Stromversorgung ist digital gesteuert und kann von 20W bis 40 kW Leistung liefern. Das Gerät ist in der Lage, präzise Beschichtung und Dünnschichtabscheidung mit einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Metalle, Dielektrika, organische Verbindungen und Seltene Erden. Die Sputtermaschine hat verschiedene einstellbare Parameter, wie Gasdruck, Druck- und Temperaturregelung, Zielmaterial und Handhabung und Vorspannung, für eine gleichmäßige Filmdicke und gleichmäßige Abscheidung. Das Werkzeug ist auch mit einem mehrzonigen Substratsubstratheizer ausgestattet, der bis zu 300 ° C erreichen kann. Dadurch kann das Gut unter unterschiedlichen Temperaturen betrieben werden, was ein tieferes Eindringen in das Substrat ermöglicht. Mit dem Dual Source Mechanism (DSM) wird die Präzisionskontrolle von Zielmaterial und Handhabung durch MRC 903 ermöglicht. Es ist so konzipiert, um die Hochgeschwindigkeitsabscheidung von Dickschichtvariationen über einen breiten Substratbereich zu erleichtern. Dies wird erreicht, indem mehrere unabhängige Quellen bereitgestellt werden können und einzelne Quellen entlang drei Achsen bewegt werden können. 903 bietet auch eine einzigartig gleichmäßige Abscheidung über ein breites Substrat mit der fokussierten Diodenkonstruktion. Es verfügt über ein einzigartiges 3-Achsen-Mapping-Modell für eine bessere Abscheidung Fähigkeiten im gesamten Betriebsbereich. Dies ist äußerst nützlich für Präzisionsbeschichtungsaufgaben in Tiefgräben oder Deices mit feinen Linienmerkmalen. Das Gerät verfügt auch über ein modernes Substrat Target Positioning System (STPS), um eine gleichmäßige Abscheidung auf mehreren Substraten zu gewährleisten. Diese verstellbare Armeinheit ermöglicht eine präzise Justierung und ist für Anwendungen ausgelegt, bei denen Substrate an den vier Ecken montiert werden müssen. MRC 903 ist eine effiziente, zuverlässige und benutzerfreundliche Sputtermaschine, ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug, das präzise Beschichtung und Dünnschichtabscheidung ermöglicht, und es bietet überlegene Filmgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit über einen breiten Substratbereich.