Gebraucht MRC 903A #9038716 zu verkaufen

MRC 903A ist eine Art Sputteranlage, die für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten für Dünnschichtanwendungen entwickelt wurde. Es hat einen hohen Durchsatz mit einer multifunktionalen Basiseinheit, die einen drehbaren Sputterkopf und ein Hochleistungs-HF- und DC-Netzteil enthält. Das HF-Netzteil dient zum Antrieb der HF-Magnetron-Sputterpistole und das DC-Netzteil zum Antrieb des dichten Plasma-Fokus-Targets. Der Sputterkopf ist in beiden X-Y-Z Richtungen verstellbar und bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über große Bereiche. Dieses System verwendet eine Doppelquellen-Vakuumkammer zum gleichzeitigen Sputtern mit zwei Materialien. Die Doppelquellenkammer weist zwei unabhängige Kammern auf, die jeweils einen eigenen drehbaren Sputterkopf enthalten. Zum Be- und Entladen von Substraten ist eine Probenladekammer enthalten. 903A hat auch eine optionale Langmuir-Blodgett-Mulde, mit der geordnete molekulare Arrays abgelegt werden können. MRC 903A ist mit einer Vielzahl von Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Ein Gasströmungsrechner dient zur Regelung von Prozessdrücken und zur Überwachung des Verhältnisses von zerstäubtem Material zu Ar +. Das Gerät ist ferner mit einem Massenspektrometer zur Überwachung von Prozessgasen wie O2 und N2 und einem Kristalloszillator zur Messung der HF-Leistung ausgestattet. Zur präzisen Temperaturregelung der Probe ist auch ein Peltier-Element enthalten. 903A ist eine leistungsstarke, vielseitige Sputtermaschine, die zur Abscheidung von Metall-, Nitrid- und Oxiddünnfilmen eingesetzt werden kann. Es ist ein Hochdurchsatzwerkzeug mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, sehr wiederholbarer und zuverlässiger Prozesssteuerung und dedizierter Überwachung für Sicherheit und Prozesssteuerung. Mit der optionalen Langmuir-Blodgett-Mulde ist sie ideal für eine breite Palette von dielektrischen, Halbleiter- und ferromagnetischen Materialien.