Gebraucht MRC 903M #9166595 zu verkaufen

MRC 903M ist eine sehr vielseitige und zuverlässige Sputterausrüstung, die von MuRata Machinery Ltd. entworfen und hergestellt wurde. Es ist ein fortschrittliches Sputterwerkzeug, das für Präzisionsreinigungs-, Ätz-, Abscheide- und Dünnschichtverarbeitungsanwendungen auf einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Kupfer, Glas, Polymeren und Low-K-Materialien geeignet ist. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: einer präzise gesteuerten Vakuumkammer, einem speziell entwickelten Gaskrümmer und einem Roboter-Bewegungsstufen-System. MRC 903 M Vakuumkammer ist entworfen, um ein hohes Maß an mechanischer, thermischer und Vakuumstabilität zu erreichen, mit einem Enddruck von 1x10-6 Torr. Temperaturgesteuerte Heizkomponenten können gleichmäßige Temperaturen zwischen -25 Celsius und + 150 Celsius halten. Die Kammer verfügt außerdem über eine hochreine, ausgasungsarme, nicht verdampfbare Getterpumpe (NEG), die nicht kondensierbare Gase entfernt und eine Probenverunreinigung verhindert. 903M ist zertifiziert, mit einer breiten Palette von Prozessgasen kompatibel zu sein, darunter hochreines Ar, He, O2, N2, NF3, CF4 und andere Spezialgase. Die Gaskrümmereinheit steuert effizient die Strömung, Zusammensetzung und den Druck verschiedener Gase, die im Zerstäubungsprozess verwendet werden. Es gibt separate Kammern für Argon und Inertgas und ein Bypassventil zur Einstellung des Drucks. Gasregelventile sind exakt positioniert, um eine präzise Einstellung des Gasstroms zu ermöglichen. Damit können 903 M das Abscheidungsprofil und die Schichtdicken für unterschiedliche Substrate exakt steuern. MRC 903M Roboterprobenstufe wird mit einem zweiachsigen Probenhalter und einer mechanischen Spannmaschine vorinstalliert. Es verfügt über einen hochpräzisen Linearmotor in X- und Y-Achsbewegung, der eine präzise Positionierung und ein sehr glattes Bewegungsmuster ermöglicht. Zusätzlich kann der Probenhalter für unterschiedliche Schrittabdeckungswinkel um bis zu 180 Grad gedreht werden, um eine bessere Beschichtungsgleichförmigkeit zu erreichen. Abschließend ist das MRC 903 M Sputterwerkzeug ein sehr vielseitiges und technologisch fortschrittliches Werkzeug, das für präzise Dünnschichtbeschichtungsanwendungen entwickelt wurde. Es umfasst eine präzise gesteuerte Vakuumkammer, einen dynamisch ausgeglichenen Gaskrümmer und eine hochgenaue Roboter-Bewegungsstufen-Steuerung, wodurch es ideal für hochpräzise Reinigungs-, Beschichtungs- und Ätzprozesse ist.