Gebraucht MRC 943 #293749818 zu verkaufen
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ID: 293749818
Weinlese: 1980
In-Line DC Magnetron sputtering system
Position: 3-Target
RF Cathode system
EDWARDS / CTI CRYOGENICS Cryo-Torr Pump, 8"
LEYBOLD D30A Rotary vane pump
LEYBOLD WSU-151 Roots blower
EDWARDS / CTI 9600 Compressor
Does not include targets
Manuals
Baratron gauge non-functional
Missing parts:
Load lock cryopump
Transport scan motor
1980 vintage.
MRC 943 ist eine DC/RF-Sputteranlage, die zur Herstellung dünner Filme auf Substraten in wissenschaftlichen Laboren verwendet wird. Es eignet sich zur Beschichtung von Materialien unterschiedlicher Dicke mit einem Abscheidegeschwindigkeitsbereich von 0,002 bis 10 nm/s. Das System besteht aus einer Abscheidekammer, einer HF/DC-Stromversorgung, einer Hilfsgasversorgungseinheit und einer Vakuummaschine. Die Abscheidekammer weist ein vertikal montiertes Magnetron-Target bis 10 Zoll Durchmesser und eine integrierte Gegenelektrode auf. Es ist mit einem Vakuumwerkzeug verbunden, das eine mechanische und öldichte Pumpe, eine Trockenverstärkerpumpe und eine Turbomolekularpumpe für den Hochvakuumbetrieb umfasst. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein Hilfsgasliefermodell, das zur Sputterprozesssteuerung und Vorläuferlieferung verwendet wird. Das HF/DC-Netzteil bietet bis zu 300W Leistung für eine gleichmäßige Filmabscheidung und kann auch zur Kompensation der Zielerosion verwendet werden. Die Ausrüstung ist sehr anpassbar und kann mit verschiedenen Reaktionsgasen und Vorläufern verwendet werden. Es ist mit einem mikroprozessorbasierten Controller mit Mehrzonenüberwachungsfunktion ausgestattet. Es ist zum manuellen oder automatischen Betrieb fähig und verfügt über erweiterte Gesundheitsdiagnostik und Sicherheitsfunktionen. Darüber hinaus unterstützt es Fernkommunikationsfunktionen, die eine Fernüberwachung und -steuerung des Systems ermöglichen und den Benutzern mehr Flexibilität und Komfort bieten. Kurz gesagt, 943 ist eine zuverlässige und leistungsstarke Sputtereinheit, die für verschiedene Dünnschichtanwendungen geeignet ist.
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