Gebraucht MRC 943 #9199346 zu verkaufen

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Hersteller
MRC
Modell
943
ID: 9199346
Sputtering system Compressor Mech pump System hardware: MRC Load lock assembly CTI CT-8 Cryo pump: Load lock Process chamber (3) SIERRA Scientific planar 5"x15" cathodes (3) Target shielding sets ADVANCED ENERGY MDX-10 DC Power supply: 10 kW MRC Hivac valve With MRS throttle valve assembly (3) MKS MFC MKS 390 Baratron assembly MRC Hydraulic system ENI OEM-12A RF Generator ENI Matchwork 10 RF Matching unit Rack hardware: GOULD / MODICON PLC Controller GP-303 IG Controller MKS 252 Throttle valve controller MKS 247 MFC Controller: 4 Channels (5) GP-275 Convectrons TCR DC Voltage power supply (MRC Rail bias).
MRC 943 ist eine fortschrittliche D.C. Magnetron-Sputterausrüstung, die für die Forschung und Entwicklung von Dünnschichtbeschichtungsanwendungen verwendet wird. Es verfügt über eine große, zuverlässige Magnetronpistole und umfangreiche Abscheideregulierungsfunktionen. Das System wird mit einem fortgeschrittenen Hochfrequenzwiderhallendhöhlenplasmagenerator ausgestattet, um einheitliches Plasma im Absetzungsraum für die verbesserte Leistung und Genauigkeit zu sichern. 943 enthält eine Mehrkammerkonfiguration, die den Einbau von bis zu vier Zielmaterialien gleichzeitig in den Prozess ermöglicht. Die integrierte Prozesssteuereinheit des MRC 943 verfügt über eine Regelung der Prozessparameter, einschließlich der Möglichkeit, den Leistungspegel, den Gasfluss und den Gasdruck mühelos einzustellen. Diese Maschine bietet die Möglichkeit, eine breite Palette von Sputterbeschichtungsschrittfolgen durchzuführen sowie Belichtungen zu überwachen und anzupassen, um genaue und wiederholbare Abscheidungsergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus helfen Bordkühllüfter, Betriebstemperaturen zu senken und die Zuverlässigkeit und Lebensdauer des Werkzeugs zu verbessern. Um die Abscheidung auf zahlreichen Substraten mit hoher Genauigkeit durchzuführen, umfaßt 943 zwei getrennte unabhängige Kathoden, die ferneinstellbar sind, um zwischen planaren oder zylindrischen Magnetfeldern zu wählen. Dieses Merkmal ermöglicht eine präzise Steuerung des Elektronenflusses und eine gleichmäßige Abscheidung über eine Vielzahl von Substratgrößen und -formen. Die Anlage wird von einem einfach zu bedienenden Kontrollkippdisplay aus betrieben, einschließlich voreingestellter Beschichtungsrezepte, um Zeit und Energie zu sparen. Es verfügt auch über eine automatische End-of-Run-Diagnosefunktion zur Fehlerbehebung. Darüber hinaus können Benutzer den gesamten Abscheidungsprozess überwachen und Rezepte in Echtzeit über eine visuelle Schnittstelle anpassen, die Informationen wie Abscheidungsdruck, Temperatur und Prozessparameter anzeigt. MRC 943 enthält ein umfassendes Softwarepaket für Rezept-Laden, Ablagerungssteuerung & Überwachung, Feedback und Reporting. Zusätzliche Funktionen wie die Möglichkeit, mehrere MRC-Systeme parallel zu steuern, Datenerfassungsfunktionen und programmierbare Hardware werden ebenfalls unterstützt. Kurz gesagt, 943 ist ein leistungsstarkes, einfach zu bedienendes und zuverlässiges Sputtermodell, das eine schnelle Abscheidung bei hoher Präzision mit präziser Gleichmäßigkeit und Kontrolle über den gesamten Prozess bietet. Es ist perfekt für Forschungslabore, wissenschaftliche Labore und industrielle Prozesse gleichermaßen.
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