Gebraucht MRC Mark II #9230625 zu verkaufen

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MRC Mark II
Verkauft
Hersteller
MRC
Modell
Mark II
ID: 9230625
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Sputtering system, 8" 1996 vintage.
MRC Mark II ist eine Sputteranlage, die in Vakuumabscheidungsprozessen verwendet wird, um dünne Filme aus Metall, Halbleitern und anderen Materialien auf Substraten abzuscheiden. Es ist in vielen Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Automobil, Biomedizin, Kunststoff und Nanotechnologie weit verbreitet. Mark II besteht aus zwei Hauptteilen: einer Vakuumkammer und einer Stromversorgung. Die Kammer ist abgedichtet und ermöglicht einen Hintergrunddruck von 1 x 10-6 Torr, der mit einer Turbo-Molekularpumpe weiter reduziert werden kann. Es enthält auch eine Lastschleuse, die zum Be- und Entladen von Substraten aus der Kammer unter Vakuum verwendet wird. Die Stromversorgung ist eine Hochspannungs-Gleichstromquelle mit variablen Einstellungen sowohl für Vorwärts- als auch für Rückwärtsstrom. Sie ist über mehrere Elektroden, die zur Anpassung des Plasmas einstellbar sind, mit der Vakuumkammer verbunden. Das System ermöglicht verschiedene Arten von Sputterprozessen, einschließlich reaktiver, DC-Magnetron- und HF-Diode. Beim reaktiven Sputtern werden reaktive Gase wie Argon und O2 zur Reaktion auf das Zielmaterial in die Kammer eingeleitet. DC-Magnetron-Sputtern ist ein Prozess, bei dem ein Permanentmagnet verwendet wird, um ein wirbelndes, rotierendes Plasma von beschleunigten Ionen zu erzeugen, das auf das Zielmaterial einwirkt. Schließlich ist das HF-Diodensputtern ein Verfahren, bei dem HF-Leistung an ein induktiv gekoppeltes Plasma angelegt wird, um eine ionisierte Atmosphäre zu erzeugen und Ionen zu bombardieren, um dünne Filme auf Substrate zu sputtern. Neben dem grundlegenden Sputteraufbau bietet das Gerät auch zusätzliche Funktionen wie eine hochauflösende Vision-Maschine zum präzisen Aufsetzen von Substraten auf das Ziel, eine hochpräzise Temperaturregelung für die Substratheizung und mehrere Substratkonfigurationsmöglichkeiten. Für zusätzliche Sicherheit ist die Kammer mit explosionsgeschützter Beleuchtung, Rauchsteuergeräten und einer gasdichten Dichtung ausgestattet. Insgesamt ist MRC Mark II ein vielseitiges Sputterwerkzeug, das eine hohe Flexibilität und präzise Kontrolle des Abscheideprozesses bietet. Sie eignet sich besonders für Branchen, die leistungsstarke Beschichtungslösungen mit geringen Fehlerquoten benötigen.
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