Gebraucht MRC Mark II #9269893 zu verkaufen

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MRC Mark II
Verkauft
Hersteller
MRC
Modell
Mark II
ID: 9269893
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
MRC Mark II ist eine Sputteranlage, die von MRC Technologies entwickelt und in einer Vielzahl von Branchen und Anwendungen eingesetzt wird. Es ist ein Mehrkomponenten-Verdampfungssystem mit der Fähigkeit, Sputtern, Dünnschichtabscheidung und thermische Verdampfung durchzuführen. Mark II kann je nach gewünschter Endanwendung eine Vielzahl von Sputterkathoden, Zielmaterialien und Größen aufnehmen. Es handelt sich um eine geschlossene Einheit mit Umgebungsdruck, mit der eine Vielzahl von Prozessparametern eingehalten werden können. MRC Mark II verfügt über eine langlebige und chemikalienbeständige 6 mm dicke Edelstahlkammer sowie zwei 0,5 "dicke Quarzaussichtsports mit Rollläden zur Unterstützung der Überwachung des Abscheidungsprozesses. Ein rotierendes Shuttle mit Substrathalter ermöglicht einen einfachen Transfer zwischen Prozessmodulen. Seine fortschrittliche mehrstufige Filtrationsmaschine verhindert eine Kontamination der Prozesskammer und schützt die zerstäubten Targets vor Oxidation. Mark II ist in der Lage, eine mehrschichtige Abscheidung sowohl im Vakuum als auch in der Atmosphäre durchzuführen. Sein Heber ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung auf unebenen Probenoberflächen und seine variablen Stromversorgungen geben eine präzise Steuerung der Ionenenergie, so dass es die Fähigkeit, Metalle, Oxide und Nitride abzuscheiden. Seine Plasmaquellen-Netzteile steuern die Ionenbeschuss- und Sputterraten, während sein 12-Positionen-Drehtisch Proben schnell zwischen Prozessen überträgt. MRC Mark II hat auch die Fähigkeit, in verschiedenen Kombinationen von Abscheidungsbeispielen verwendet werden. Beispiele sind HF/DC-Sputtern, Magnetronsputtern, Ionenstrahlsputtern, physikalische Abscheidung und thermische Verdampfung. Es kann mit einer Vielzahl von Abscheidungsquellen kombiniert werden, um beispielsweise eine Kammer zu einem IBS-RF-Sputterwerkzeug zu bilden, wodurch ultradünne und mehrschichtige Folien auf eine Vielzahl von Substratmaterialien aufgebracht werden können. Seine modernen Steuerungs- und Überwachungsfunktionen umfassen Echtzeit-Prozess- und Temperaturüberwachung, Prozessdiagnose und variable Gasspülratensteuerung. Dies ermöglicht eine genaue Überwachung des Gesamtprozesses und die Wiederholbarkeit von Parametern zur Ausführung hochwertiger Dünnschichten. Mark II ist eine ideale Lösung für Labore und Produktionsstätten, die Dünnschichtabscheidung für eine Vielzahl von Anwendungen und Materialien benötigen.
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