Gebraucht MRC Mark IV #293652073 zu verkaufen

MRC Mark IV ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung zur Dünnschichtabscheidung. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Beschichtung großer Flächen mit hoher Gleichmäßigkeit mit einer breiten Palette von Targets und Gasen. Das flexible Design ermöglicht eine Vielzahl von Prozessanforderungen. Herzstück des Systems ist eine mehrkanalige HF-Magnetron-Sputtereinheit. Dies sorgt für eine verbesserte Abscheiderate und erhöhte Produktionseffizienz. Die Maschine ist in der Lage, Substrate bis zu einer Größe von 350mm mit einem Sichtfeld von bis zu 140 x 140mm zu zielen. Die Standardkonfiguration umfasst bis zu vier Ziele, die gleichzeitig gesputtert werden sollen, konfiguriert über eine 3-Zonen-Plattform. Jede Zone wird unabhängig voneinander gesteuert und kann mit verschiedenen Gasen konfiguriert werden, so dass der Bediener den Prozess feinabstimmen kann. Das Werkzeug ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, wie Aluminiumoxid, Kieselsäure, Titandioxid, Vanadium und Chrom. Je nach Anwendung können verschiedene Konfigurationen von Druck, Leistung und Temperatur ausgewählt werden, um die Anforderungen des Kunden am besten zu erfüllen. Darüber hinaus ermöglicht das Asset die Verwendung mehrerer Ziele mit unterschiedlichen Leistungsstärken in einem einzigen Zyklus für Multi-Sputter- und Multi-Layer-Abdeckung. Dies gibt dem Kunden mehr Kontrolle, Flexibilität und Genauigkeit in seinen Folienabscheidungsprozessen. Mark IV ist für hochpräzise Anwendungen konzipiert. Es verfügt über ein ausgeklügeltes AutoGas™-Modell, bei dem GMS- und Argon-Ionen verwendet werden, um die Plasmadichte auszugleichen und eine gleichmäßige Abscheidungsdicke auf dem Substrat zu gewährleisten. Aus diesem Grund ist MRC Mark IV das Ausgangsgerät für eine breite Palette von Halbleiter-, MEM- und Optik-Anwendungen, einschließlich Beschichtungsglas, Quarz, Metalle und keramische Oberflächen. Das System ist auch mit einer Reihe von Diagnosetools ausgestattet, einschließlich einer effektiven QA/QC-Einheit, die als Process Integrity bekannt ist. Dadurch kann der Kunde den gesamten Prozess einschließlich Zielemission und Substratantwort in Echtzeit überwachen. Zusätzliche Werkzeuge umfassen Rezeptsteuerung, vollständige Maschinenüberwachung, Prozesssteuerung und mehrere Abschaltoptionen. Dadurch wird sichergestellt, dass Prozesse konsistent sind und die Erträge bei jedem Lauf maximiert werden. Abschließend ist Mark IV ein fortschrittliches Sputterwerkzeug, das eine glatte und genaue Abscheidung von dünnen Schichten mit großer Gleichmäßigkeit ermöglicht. Dank seiner ausgeklügelten Magnetron-Technologie kann er große Bereiche präzise beschichten und eine breite Palette von Materialien verarbeiten. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Beschichtung großer Flächen mit hoher Gleichmäßigkeit und ist eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiter-, MEM- und Optikanwendungen.