Gebraucht MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse Mark II #9300202 zu verkaufen

MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse Mark II
ID: 9300202
Wafergröße: 6"
Systems, 6".
MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse Mark II ist ein Sputtersystem, das die Abscheidung dünner Filme auf Wafern mit sehr präziser Geschwindigkeit ermöglicht. Sie besteht aus einem Boden mit einer Kammer und einigen kritischen Komponenten. Diese Basis enthält ein HF-Netzteil, ein HF-Heizelement, eine Kryopumpe und einen Massenstromregler. Die Kammer enthält einen Abscheidungssubstrathalter, Spule/Probe/Massenstrom-Regler und einen Verschluss. Die Vakuumkammer weist eine turbomolekulare Vakuumpumpe und eine rotatorische Vakuumdurchführung auf, um ein tiefes Vakuum zu erreichen, das für eine effektive Zerstäubung erforderlich ist. Das HF-Heizelement dient zur Aufrechterhaltung einer konstanten Temperatur und die Kryopumpe wird verwendet, um einen niedrigeren Druck und eine niedrigere Temperatur in der Kammer zu erreichen. Der Prozess des Sputterns beginnt, indem man ein Material auf das Ziel sputtert und dann ein seltenes Gas, in der Regel Ar und Xe, in die Kammer einführt und ein Plasma erzeugt. Das Plasma bombardiert das Zielmaterial, das Atome vom Target desorbiert und diese Atome dann auf dem Substrat abgeschieden werden, wodurch ein dünner Film entsteht. Während der Abscheidung wird der Verschluss geschlossen gehalten, um die Kammer von der Außenumgebung zu isolieren und sicherzustellen, dass nur das gewünschte Material gesputtert wird. Die HF-Leistung hält eine konstante Temperatur, so dass der Sputterprozess hochpräzise und wiederholbar ist. Der Massenstromregler sorgt dafür, dass die Strömung des Sputtergases und die Temperatur in der Kammer konsistent und präzise sind. Die Spule/Probe/Massenstrom-Regler sorgen für Stabilität und Konsistenz des Sputterprozesses, indem sie den Probendruck messen, den Prozess ständig überwachen und regulieren, um den gewünschten Dünnfilm zu erreichen. Durch die gemeinsame Verwendung all dieser Komponenten sorgt die Mark II für eine präzise und wiederholbare Dünnschichtabscheidung. Darüber hinaus bietet der Mark II eine breite Palette von Steuerungsoptionen und automatisierten Prozessen, mit denen der Benutzer die meisten Parameter einfach anpassen, den Prozess überwachen und während des Abscheidungsprozesses anpassen kann. Diese automatisierte Funktion ermöglicht es dem Materialforscher, sich auf wichtigere Details ihres Experiments und der Dünnschichtabscheidung zu konzentrieren. Das Mark II ist ein hochzuverlässiges und präzises Dünnschichtabscheidungssystem. Es ist ideal für Labore, die dünne Filme für fortgeschrittene Materialforschung genau ablegen müssen. Durch die Kombination der HF-Stromversorgung, HF-Heizelemente, Kryopumpe, Massenstromregler und der Verschluss ist es in der Lage, präzise und wiederholbare Dünnschichtabscheidung ideal für die fortschrittliche Materialforschung zu geben.
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