Gebraucht MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse #9226263 zu verkaufen

MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse
ID: 9226263
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Sputtering system, 6" 1997 vintage.
MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse ist eine flexible Sputteranlage, die für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten konzipiert ist. Sie nutzt HF-Stromquellen sowohl für Sputter- als auch Abscheideprozesse und eignet sich besonders gut zur Abscheidung von Metallen, Dielektrika und Halbleitern. MRC Eclipse System beinhaltet eine Hauptabscheidekammer und eine Ladeblockeinheit, die Probensubstrate umschließt. Die Abscheidekammer enthält eine Vielzahl von Komponenten, darunter einen rauscharmen HF-Generator, Plasmaquellen, Kühlspulen und eine Gaseinspritzeinheit. Die Verriegelungseinheit ist zur Verminderung von Verschmutzungen ausgelegt und enthält zwei Stationen und einen Pendelmechanismus zur Übertragung von Substraten zwischen der Verriegelungs- und Abscheidekammer. MATERIAL RESEARCH CORPORATION Eclipse Maschine ist für hohe Abscheidungsrate mit hochwertigen dünnen Folien konzipiert. Der HF-RF-Hausgenerator erzeugt magnetronerzeugte Energie und erzeugt eine kontrollierte Atmosphäre innerhalb der Kammer. Im Abscheidungsprozess werden eine Vielzahl von Sputterquellen eingesetzt, darunter emissionsarme und emissionsarme Quellen. Diese Sputterquellen werden routinemäßig mit Argon und anderen reaktiven oder inerten Gasen wie Stickstoff und Sauerstoff betrieben. Unter Verwendung dieser Quellen können Filme unterschiedlicher Dichte, Leitfähigkeiten und anderer Eigenschaften hergestellt werden. Für andere Prozesse ist das Eclipse-Werkzeug mit einer Reihe von Zusatzkomponenten ausgestattet. Zu diesen Komponenten gehören eine Pendelkammer, eine Vorwärtsmagnetronspule, ein Massenstromregler, eine Glimmentladungsquelle und ein Plasmagenerator. Alle diese Komponenten sind so konzipiert, dass sie miteinander arbeiten, um die Prozessbedingungen zu optimieren und Kontaminationen zu minimieren. MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse asset ist auch mit einem integrierten Sicherheitsmodell ausgestattet. Dieses Gerät überwacht verschiedene Parameter wie Temperatur, Druck, Prozessgasversorgung und Kammerbedingungen. Darüber hinaus ermöglicht MRC Eclipse-System Benutzern, Einstellungen anzupassen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Dazu gehört die Möglichkeit, eine gewünschte Geschwindigkeit der Filmabscheidung und Partikelgröße auszuwählen, sowie die Fähigkeit, die Sputterquellen und andere Komponenten bei Bedarf zu modifizieren. MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse Einheit ist hoch fortgeschritten und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist zuverlässig und einfach zu bedienen, so dass es eine ideale Wahl für Forschungslabors und Produktionsumgebungen. Dank seines flexiblen, benutzerfreundlichen Designs ist es eine gute Wahl für Abscheide- und Sputterprozesse.
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