Gebraucht MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Mark IV #293807041 zu verkaufen
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MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Mark IV ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die hervorragende Leistungsstufen bei Sputterabscheidungsprozessen bietet. Dieses System verwendet eine Multi-DC (Gleichstrom) -Kathodenbogenquelle, um einen niederenergetischen Ionenstrahl zu erzeugen, der eine optimale Umgebung für konsistente Schichtabscheidung schafft. Das Gerät verfügt über eine doppelte horizontale Bewegung und eine hochpräzise Bühnendrehung sowie eine reibungslose Bewegungssteuerung und integrierte automatisierte Prozessrezepte. Dies führt zu einer zuverlässigen gleichmäßigen Dickenkontrolle für hochwertige Flachbildschirme und verschiedene optische Komponenten. Die Maschine verfügt über eine 10-seitige quadratische Kammer mit vier unabhängigen Sputterquellen, die für einen höheren Durchsatz und niedrigere Gesamtkosten unabhängig voneinander arbeiten. Die Prozessfähigkeit des Werkzeugs ermöglicht auch eine Substratdrehung von +/- 90 ° aus den Sputterquellen, während die Lastsperre eine Temperaturregelung ermöglicht und sich auf die Erhöhung der Substrathaltegenauigkeit konzentriert. Darüber hinaus bietet das Asset auch eine hervorragende Selbstausrichtung zwischen den Sputterquellen und den Substrathaltern. Das Mark IV nutzt eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), um die Bedienung des Modells intuitiv und einfach zu gestalten. Diese GUI bietet dem Anwender eine Vielzahl von Prozessen wie DC (Gleichstrom) Sputter, RF (Hochfrequenz) Sputter, Verdampfung und chemische Dampfabscheidung zur Auswahl. Darüber hinaus trägt das Hochleistungs-Cluster-Rechensystem zur Optimierung von Durchsatz und Prozessen bei. Die fortschrittliche Total Mass Flow Control (TMFC) -Technologie des Mark IV hilft bei der Optimierung von Sputterquellenbedingungen und Kammerdruck während des Sputterabscheidungsprozesses und reduziert die Gasflussquerkontamination zwischen den Sputterquellen. Diese TMFC-Technologie gewährleistet zudem eine präzise Prozesskontrolle und gleichbleibende Folienqualität bei minimierter Variation. Darüber hinaus ist das Gerät auch mit einer patentierten Pulssputterquellen-Technologie ausgestattet, die eine effiziente und gleichmäßige Filmabscheidung und -ätzung ermöglicht. Zusammenfassend ist MRC Eclipse Mark IV eine hochmoderne Sputtermaschine, die eine hervorragende Sputterabscheidungsleistung bietet. Seine fortschrittlichen Funktionen und Technologien wie Multi-DC-Kathodenbogenquelle, Dual-Horizontal-Plane-Bewegung, TMFC-Technologie und die patentierte Puls-Sputter-Source-Technologie machen es gut geeignet für hochwertige Dünnschicht-Abscheidungsanwendungen in FPD und anderen optischen Branchen.
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