Gebraucht MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108496 zu verkaufen

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star ist eine Sputterausrüstung, die eine überlegene Abscheidung für eine breite Palette von Materialien bietet. Die einzigartigen Fähigkeiten dieses Systems ermöglichen eine verbesserte Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Abdeckung von metallgesputterten Targets sowie eine gleichmäßige Abscheidung von Dielektrika, Metalloxiden und Nitriden. MRC Eclipse Star ist eine Dual-Gun DC-Sputtereinheit mit spezieller Plasmareinigung. Es verfügt über einen Hochtemperatur-Glockenofen für Glühen und thermische Verarbeitung und eine hohe Vakuumfähigkeit, die ein Basisvakuum von 10-7 Pa. erreichen kann. Dies macht es für verschiedene Prozesse mit Gasen und Flüssigkeiten geeignet, sowie Sputtern und Verdampfungsprozesse. Die Hauptkomponenten sind eine Sputterquelle mit zwei Kanonen, ein Hochtemperaturglockenofen, ein Plasmareiniger, eine Elektronenstrahlverdampfungsquelle und eine Hochvakuumpumpmaschine. Die Sputterpistolen arbeiten, indem sie einen Strahl von positiv geladenen Argonatomen in Richtung des Zielmaterials beschleunigen, was zum Sputtern führt. Ein leistungsstarkes Magnet-Array hinter jeder Sputterpistole dient als Führung für den Argonatomstrahl, was zu einer gleichmäßigen Abdeckung des Zielmaterials führt. Der Hochtemperatur-Glockenofen kann verwendet werden, um das Wafersubstrat bei Temperaturen bis zu 1200C zu glühen oder thermisch zu verarbeiten. Dies ermöglicht eine bessere Kontrolle der Kristallstruktur und des Dotierungsprofils bei der Verarbeitung von III-V und II-VI Materialien sowie verbesserte Ausbeuten bei der Metallbearbeitung. Darüber hinaus ermöglicht die Kombination von Ofen und Sputterpistolen eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Abscheidungsdicke und eine gleichmäßige Abdeckung großer Flächen. TEL Eclipse Star ist ein zuverlässiges und bewährtes Abscheidungswerkzeug, das für Prozesse entwickelt wurde, die eine hohe Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Abdeckung von Sputterzielen erfordern. Seine Eigenschaften ermöglichen eine zuverlässige Abscheidung verschiedener Materialien und eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Folien, was seine Verwendung in einer Vielzahl von Sputteranwendungen ermöglicht.