Gebraucht MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9222754 zu verkaufen
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ID: 9222754
System
(2) Compressor sets
Fry pump
Control PC included
Targets: AlSi, Pure-Al, Ti
Etch type: Hard etch
Magnets:
SPA
SPA
RMX
RMA
Power supply:
(3) Master sets
(3) Slave sets.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star ist eine physikalische PVD-Sputterausrüstung, die dünne Materialfilme kontrolliert und effizient auf einem Substrat abscheidet. MRC Eclipse Star ist mit einer 8 "Single Wafer Load Lock-Kammer ausgestattet, die Verunreinigungen durch die Atmosphäre reduziert. Das System ist kompatibel mit einer breiten Palette von Materialien und Substraten, so dass es perfekt für eine Vielzahl von kundenspezifischen Beschichtungsanwendungen. TEL Eclipse Star verfügt über eine breite Palette von Sputterquellen, darunter ein planares Magnetron, ein mehrteiliges Ziel oder dedizierte Kathoden, die mit einer Vielzahl von HF- und DC-Netzteilen betrieben werden. Dies ermöglicht das gezielte Aufbringen von Material auf die Substrate in verschiedenen Formaten. Das Gerät verfügt auch über niedrige Substrat-Heiztechnologie, für eine verbesserte Gleichmäßigkeit von gesputterten Folien unter Abscheidung auf temperaturempfindlichen Materialien. TOKYO ELECTRON Eclipse Star ist für eine optimale Prozesssteuerung konzipiert, mit einem vernetzten PC für Benutzereingabe und Maschinenüberwachung. Es verfügt auch über geschlossene Schleife Prozesssteuerung, so dass eine genaue und wiederholbare Beschichtungsleistung mit geschlossener Schleife Steuerung der Sputterparameter. Das Werkzeug ist mit einer Reihe von Zubehör, einschließlich Temperaturregler, Multi-Gas-Ventile, Substrat-Rotation und lineare Bewegung Tracker abgeschlossen. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine erweiterte Prozessüberwachung für eine verbesserte Prozesssteuerung, einschließlich eines automatisierten Anpassungsmodells, das schnelle und genaue Prozessanpassungen während der Ablagerung ermöglicht. Es umfasst auch eine leistungsstarke Sammlung von Messtechnik-Software und Hardware, einschließlich SECS/GEM-Protokoll, die geschlossene Schleife Prozesssteuerung und Echtzeit-Prozess-Überwachung der Prozessergebnisse ermöglicht. Eclipse Star ist eine kostengünstige Lösung für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungsbedürfnissen und bietet effiziente, zuverlässige und wiederholbare Beschichtungsergebnisse. Es verfügt über ein modulares Design für einfache Installation und Wartung und eine breite Palette von Sputterquellen, Temperaturregelungssystemen und kundenspezifischem Zubehör, die die Ausrüstung für benutzerdefinierte Workflows geeignet machen. Die fortschrittlichen Funktionen zur Prozessüberwachung sowie Metrologie-Hardware und -Software machen MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star zur idealen Lösung für jede Dünnschichtabscheidungsanwendung.
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