Gebraucht MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9314540 zu verkaufen

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star ist ein Sputtergerät, das entwickelt wurde, um hohe Präzision, Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Durchführung von Dünnschichtabscheidung und -ätzen für Anwendungen wie die Herstellung von mikroelektronischen, optoelektronischen und mikromechanischen Geräten zu bieten. Das System besteht aus einer Hochvakuumkammer, einer Niedervakuumkammer und einer Reihe von Prozessreglern und zugehörigen Geräten. Die Sputtereinheit dient in erster Linie zur Abscheidung dünner Schichten aus Metallen, Oxiden und Nitriden auf dünnen Schichten oder Substraten. Die Hochvakuumkammer der Maschine arbeitet bei einem Vakuumniveau von besser als 10-7 Torr und bietet eine ultra-niedrige Partikeldichte für die ultrahohe Reinheitsabscheidung. Das Werkzeug bietet eine Reihe von Druckeinstellungen von 10-7 bis 10-6 Torr. Zur Be- und Entladung von Substraten ist eine automatisierte Ladeschloss-Anlage vorgesehen, die zu einer sauberen und kontaminationsfreien Umgebung führt. Die Niedervakuumkammer von MRC Eclipse Star arbeitet bei 10-3 bis 10-5 Torr und ermöglicht einen Zwischenbereich zwischen Hochvakuumkammer und Atmosphäre. Die Niedervakuumkammer weist mehrere Zielstellen auf, die das gleichzeitige Sputtern von Mehrfachabscheidungsmaterialien ermöglichen und eine Vielzahl von Dünnschicht-Mikrostrukturen ermöglichen. TEL Eclipse Star wird von einer Reihe fortschrittlicher Prozesscontroller angetrieben, die zur Überwachung, Regulierung und Pflege einer Vielzahl von Schlüsselparametern programmiert werden können. Diese Regler bieten Anwendern eine präzise Kontrolle über Parameter wie Durchfluss, Druck und Temperatur. Die Softwarepakete des Modells bieten Benutzern Datenüberwachung, -analyse und -kontrolle, was eine erhöhte Prozessgenauigkeit ermöglicht. Eclipse Star wurde entwickelt, um es Anwendern zu ermöglichen, dünne Filme mit hoher Reinheit und niedrigen Nadellöchern zu erstellen. Das Gerät ist mit In-situ-Diagnosemechanismen ausgestattet, wie einer Infrarotkamera, die die Probentemperaturen beim Sputtern überwacht, und einem optischen Emissionsspektrometer, das den optisch angeregten Zustand jeder gesputterten Spezies überwacht. Auf diese Weise können Anwender den Sputterabscheidungsprozess genau überwachen. In anderen präzisen Dünnschichtabscheidungs- und Ätzanwendungen bietet TOKYO ELECTRON Eclipse Star zuverlässige und einheitliche Folien, die eine genau zugeschnittene Mikrostruktur für die anspruchsvollsten Komponenten bieten. MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Star Sputtersystem ist entworfen, um den Benutzern unübertroffene Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten.