Gebraucht NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9260884 zu verkaufen

NEXX SYSTEMS Nimbus 304 Sputterbeschichtungsanlage ist ein einzigartiges Abscheidungssystem mit hoher Leistung und optimaler Flexibilität für Forschung und industrielle Sputteranwendungen. Das Gerät ist einzigartig auf die Anforderungen sowohl großer als auch kleiner Prozesse, einschließlich anwendungsspezifischer Prozessleitsysteme, ausgelegt. Nimbus 304 verwendet eine Kammer mit 6 x 6 Zoll (152 mm), eine Hochleistungs-Magnetronsputterquelle mit hohem Wirkungsgrad und ein pulsierendes DC (PDC) -Netzteil, um sputterte Dünnschichtbeschichtungen mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, Konsistenz und Reproduzierbarkeit zu erzeugen. Die Gasströmungsgeschwindigkeit und -drücke, Substratheizung, Quellenleistung, Zielstrom, Kammerdruck und Prozesskammerdruckregelung gehören zu den Variablen, die so eingestellt werden können, dass sie genau das gewünschte Beschichtungsmaterial und Dickenprofil liefern. Die hohe Leistungskapazität ermöglicht eine effizientere Sputterabscheiderate und die PDC-Prozesssteuerungstechnologie reduziert die Prozessvariabilität und verbessert die Gleichmäßigkeit für komplexe Dünnschichtanforderungen. Die Sputterquelle ist für alle gängigen Sputtermaterialien konzipiert, einschließlich isolierter Metalle, Nitride, Carbide, Oxide und leitfähiger Verbundstoffe. NEXX SYSTEMS Nimbus 304 bietet eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit durch den Einsatz ausgeklügelter Prozesssteuerungs- und Überwachungssysteme. Die Maschine enthält eine umfassende Bibliothek mit Beschichtungsrezepten und anpassbaren Entwicklungsoptionen, um die beste Leistung und Ergebnisse zu gewährleisten. Die intuitive Benutzeroberfläche, das Touchscreen-Bedienfeld und die integrierte Diagnose machen es einfach, alle Sputterprozesse einzurichten und anzupassen. Das Werkzeug bietet auch kryogene Kühlung für schnellere Substratkühlung und kürzere Abkühlzeiten. Das Kühlgut beinhaltet eine Phasenwechselkühlung bei Temperaturen von ca. -100 ° C. Die 6-Zoll-Kammer reduziert zusammen mit der kryogenen Kühltechnologie den Sputterverlust durch Abkühlzeiten erheblich und trägt dazu bei, hochwertige reproduzierbare Dünnschichten zu gewährleisten. Nimbus 304 Sputtermodell verfügt auch über passive oder aktive Lecksuche, erweiterte Sicherheitsprotokolle und persönliche Schutzausrüstung, um die Sicherheit des Benutzers während der Verarbeitung zu gewährleisten. Die Geräte bieten auch einfache Wartung mit Online-Service-Diagnose und -Steuerungen und leicht zugänglichen Teile Austausch.