Gebraucht NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP #9212853 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9212853
Wafergröße: 12"
Sputtering system, 12"
Loadport type: Porta 300, 12"
EFEM Robot type: GENMARK GB7 (3L7S030635)
Degas
Tray type: T-cool
RF Generator: ICP
3155031-031A RF Match
(5) Magnetrons:
Magnetron types:
Ti (G1)
TiW(G1)
Cu (M4)
Cu (M4)
Cu (M4)
3152422-112S Magnetron power supply
MFC Type:
MFC1-Model: 1179A22CR15V-S
MFC2-Model: 1179A00422CR15V
EBARA VOS100P Dry pump
Cryo pump (etch chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8116199G001
Cryo pump (dep chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8115914G001
Cryo pump side (dep chamber): CTI-8F Cryo pump, p/n: 8116199G001
Ion gauge (etch chamber): 354005-YE-T
Baratron (etch chamber): 627BU5TDDIB
Ion gauge (dep chamber): 354005-YE-T
Baratron (dep chamber): 627BU5TDDIB.
NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP ist eine robuste, leistungsstarke Sputterausrüstung für kritische Anwendungen. Das System ist mit einem All-Edelstahl-Interieur und einem Aluminium-Exterieur für überlegene Haltbarkeit und hohe Leistung konstruiert. Nimbus 364XP umfasst eine 4-Kammer Reaktionskammer, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien gleichzeitig mit einer präzisen Steuerung der Prozessparameter zu verarbeiten. Das Gerät umfasst auch High-End-Netzteile, einen integrierten 3D-Schrittmotor zur präzisen Positionierung der Probenhalter und die neu konzipierte VacuumMaster Plus Control Machine (VMPC), um einen konsistenten und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Die in NEXX SYSTEMS Nimbus integrierten High-End-Netzteile 364XP die notwendige Leistung liefern, um das Material der Wahl zu sputtern und moderne Pulsbreitenmodulations- und Spannungspulstechniken zu verwenden, um ideale Plasmabedingungen zu gewährleisten, die für einen perfekt wiederholbaren Prozess entscheidend sind. Es gibt auch eine Gas Flow Control Unit (GFCU), die mit dem Werkzeug integriert ist, um eine genaue Kontrolle des Gasstroms durch die Kammer während des Prozesses zu gewährleisten. Die integrierte Reaktionskammer von Nimbus 364XP besteht aus vier getrennten Kammern, von denen jede in der Lage ist, verschiedene Materialien zu zerstäuben, um den Prozess mehrerer Schichten zu erleichtern und konsistente und vorhersehbare Ergebnisse zu liefern. Der 3D-Schrittmotor sorgt für eine genaue Positionierung der Probenhalter in jeder Kammer, um den Prozess zu optimieren. Das VacuumMaster Plus Control Asset (VMPC) gewährleistet einen zuverlässigen und konsistenten Betrieb des Modells mit detaillierter Fehlerprotokollierung und Echtzeit-Statusüberwachung. Das VMPC enthält auch Programme, mit denen Benutzer Prozessparameter überwachen, den Prozess nach Bedarf anpassen und den Fortschritt überwachen können. Insgesamt bietet NEXX SYSTEMS Nimbus 364XP eine leistungsfähige und zuverlässige Sputterausrüstung zur Herstellung präziser Schichten von dünnen Folien. Das System bietet eine hervorragende Wiederholbarkeit und Kontrolle von Prozessparametern, und seine vielseitige Vierkammerdesign ermöglicht die Verarbeitung von mehreren Materialien gleichzeitig. Die fortschrittlichen Netzteile und der integrierte 3D-Schrittmotor sorgen für hervorragende Leistung, während der VMPC einen zuverlässigen und konsistenten Betrieb gewährleistet.
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