Gebraucht NEXX / TEL / TOKYO ELECTRON APOLLO XP #9137393 zu verkaufen

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ID: 9137393
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2014
PVD System configured for manual tray processing, 6" Manual front end Load lock degas with (1) roughing pump Deposition chamber capacity for 5 magnetrons lOkW power supply (2) 8" Cryo pumps M4 Magnetron for Au, Ti, TiW and Pt Ni Loop Magnetron for Ni SECS/GEM 2014 vintage.
NEXX/TEL/TOKYO ELECTRON APOLLO XP ist eine Sputteranlage zum Abscheiden von dünnen Materialfilmen auf einem Substrat. Das System besteht aus einer Vakuumkammer mit einer Pumpeinheit, einer Quelle des Sputterabscheidungsmaterials und einem Substrathalter. Die Pumpmaschine ist so ausgelegt, dass alle Luft aus der Kammer auf ein gewünschtes Vakuumniveau evakuiert wird, um die Umgebung für den Sputterabscheidungsprozess vorzubereiten. Mit einer zweistufigen Turbomolekularpumpe wird sichergestellt, dass das gewünschte Vakuumniveau erreicht wird. Nach dem Evakuieren wird die Kammer dann mit Stickstoffgas gespült, um eine saubere und stabile Umgebung für den Abscheidungsprozess zu schaffen. Die Quelle für Sputterabscheidungsmaterial ist typischerweise eine dünne Schicht aus Metall oder Legierung, die dann verdampft und auf das Substrat abgeschieden wird. Die Materialquelle ist typischerweise in einem Tiegel innerhalb der Kammer enthalten, der dann zur Verdampfung des Materials auf eine hohe Temperatur erhitzt wird. Nach dem Verdampfen wird das Material dann von einer Magnetronquelle aus dem Tiegel ausgestoßen, in der ein elektrischer Strom zur Erzeugung eines Magnetfeldes verwendet wird. Dieses Magnetfeld stößt das verdampfte Material aus dem Tiegel aus, wodurch es über das Substrat sprüht. Die letzte Komponente des Werkzeugs ist der Substrathalter, der verwendet wird, um das Substrat an Ort und Stelle zu halten und eine genaue und konsistente Abscheidung des Materials zu ermöglichen. Das Substrat wird typischerweise durch eine Vorrichtung aus Edelstahl oder Kupfer gehalten. Diese Vorrichtung ist verstellbar ausgebildet, um eine Vielzahl von Substraten aufzunehmen und auch die genaue Abscheidung des Materials zu erleichtern. Diese drei Komponenten bilden TEL APOLLO XP Asset und bieten in Kombination ein effektives und zuverlässiges Mittel zum Abscheiden von Material auf einem Substrat. Das Modell ist in der Lage, dünne Filme aus Metall und Legierungsmaterial mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit abzuscheiden. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter optische Beschichtung, Halbleiterverarbeitung und medizinische Geräteherstellung.
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