Gebraucht NORDIKO 3000 #9228384 zu verkaufen
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ID: 9228384
Dual ion beam sputter coater
Al203 RF Coupling ceramic window have been replaced
(14) DIBS Targets, 6"
Al, TiN, Zr, Ni, SiO2, Mg, Si, Yt, ITO, Cr, Hf, Zn, AlN, Mo
Spare parts:
Qty / Make / Model / Description / Part no
(1) / LEYBOLD / Trivac D40 BCS PFPE / Roughing pump / 11389B
(1) / LEYBOLD / TurboVac 100C / Turbo pump / 85535
(1) / LEYBOLD / Turbotronik NT1000/1500VH / Turbo controller / 40-2461-8
(2) / RF PLASMA PRODUCTS / RF5 / RF Controllers / -
(2) / SORENSEN / DCS 600 1.7 / Neutralizer power supplies / 1210
(1) / HELIX CTI CRYOGENICS / Cryo Torr 8 / Cryo pump / 8033179
(1) / CTI-CRYOGENICS / 8300 / Compressor / 8052000
(1) / GLASSMAN HIGH VOLTAGE INC / PS / ER OIR 300-220 / DC Power supply / -.
NORDIKO 3000 ist eine komplette Sputteranlage, die aus Abscheidekammer, Vakuumpumpe, Stromversorgung und Steuereinheit sowie notwendigen Komponenten besteht. Die Kammer ist elektrisch im Vakuum durchführbar, wodurch den Substraten eine Gleichspannung zur Dünnschichtabscheidung zugeführt werden kann. Vakuumpumpe und Steuereinheit ermöglichen ein optimales Vakuum in der Kammer. Die Stromversorgung dient zum Betrieb des Magnetrons und liefert Energie für den Sputterprozess. 3000 ist mit einer Magnetfederung und gepulster DC-Sputtertechnologie ausgestattet. Dies ermöglicht die Abscheidung von hochhaftenden Metallfolien mit sehr guter Homogenität, Gleichmäßigkeit und ausgezeichneter Haftung der abgeschiedenen Metalle auf den Substraten. Die Magnetsuspension trägt dazu bei, ein sehr gleichmäßiges, hochwertiges Sputterfilm-Feature auch auf recht großen Substraten zu erhalten. NORDIKO 3000 verfügt über einstellbare Leistung und Frequenz, um eine Schlüsselrolle bei der Kontrolle der Abscheidegeschwindigkeit und der Zusammensetzung der Metallschichten der zerstäubten Folie zu spielen. Auch die einstellbare Impulsfrequenz erhöht die Abscheiderate bei verbesserter Gleichmäßigkeit, da nicht gleichmäßig erwärmte Knoten aus dem Impuls eliminiert werden. Dadurch können 3000 sowohl dichte als auch poröse dünne Folien erzeugt werden, die stark auf den Substraten haften. Das Mehrkammerdesign des Systems NORDIKO 3000 ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung zweier Substrate und erhöht so den Durchsatz. Es ist auch sehr energieeffizient, bietet reduzierte Prozesszeit, bessere Einheitlichkeit und verbesserte Wiederholbarkeit. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, durch seine mehrfache Abdichtmaschine einen guten Umweltschutz zu bieten. Insgesamt bietet 3000 Sputterwerkzeug hervorragende Leistung und eignet sich für viele verschiedene Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es kann eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Haftung für Metalle und andere Materialien bieten, wodurch eine große Kontrolle über den Abscheidungsprozess ermöglicht wird.
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