Gebraucht NOVELLUS MB2 #100079 zu verkaufen

NOVELLUS MB2
Hersteller
NOVELLUS
Modell
MB2
ID: 100079
Wafergröße: 8"
Metal sputtering system, 8".
NOVELLUS MB2 ist eine hochmoderne Sputteranlage für Anwendungen mit hohem Durchsatz, hoher Präzision und wiederholbaren Anwendungen. Das System bietet eine robuste und effiziente Plattform für fortschrittliche Abscheideprozesse. MB2 Sputtereinheit ist in der Lage, hochgleichmäßige, konforme Filme mit ausgezeichneter Schrittabdeckung über große und kleine Substratbereiche zu produzieren. NOVELLUS MB2 wird von einer einzigartigen digitalen TVB (Thin Film Vanadium) Technologie angetrieben, die Hochleistungs-Hochfrequenzsputtern verwendet, um eine schnelle und effiziente Abscheidung zu ermöglichen. Die fortschrittliche Steuerungsmaschine ermöglicht präzise und wiederholbare Sputterabscheidungsprozesse, die eine hervorragende Materialkonsistenz sowie eine gleichmäßige Dicke über das gesamte Substrat bieten. Der Digital TVB verfügt auch über erweiterte QuickStart-Parameter und mehrere Prozessvorgaben, so dass Bediener mehrere Abscheidungsprozesse schnell und präzise einrichten und ausführen können. MB2 bietet ein einzigartiges Zwei-Kammer-Design, das Flexibilität und Effizienz im Einsatz bietet. Die primäre Abscheidekammer ist groß genug für Substrate bis 200 mm und die kleine Probenkammer handhabt bis zu 75 mm Substrate. Die Probenkammer kann unabhängig von der Hauptkammer abgestimmt werden, was einen höheren Durchsatz in der Hauptkammer und optimale Prozesse in der Probenkammer ermöglicht. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Gasen ausgestattet, einschließlich Ar, O2 und N2 für chemische Dampfabscheidungsprozesse. NOVELLUS MB2 verfügt auch über Prozessüberwachungssysteme, wie Quarz Crystal Microbalance/Quarz Crystal Impedance (QCM/QCI) Sensoren und Optical Emission Spectroscopy (OES) Sensoren. Diese Überwachungssysteme werden verwendet, um den Abscheidungsprozess genau zu überwachen und genau zu steuern, wodurch ein hohes Maß an Präzision und Wiederholbarkeit gewährleistet wird. MB2 bietet eine Vielzahl von Werkzeugen und Technologien, die es zu einer großen Auswahl für verschiedene Anwendungen machen, wie Optoelektronik, Mikroelektronik und Stromversorgungsgeräte. Mit seiner Kombination aus fortschrittlichen Eigenschaften und Zuverlässigkeit ist NOVELLUS MB2 eine ausgezeichnete Wahl für Präzisionsabscheidungsprozesse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor